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ZEM Ultra场发射台式扫描电镜


场发射台式电镜, 优于2.5nm分辨率电镜, 实验室台式电镜, 原位台扫描电镜

ZEM20台式扫描电镜


优于4nm分辨率SEM, 快速换样电镜, 原位台台式电镜, 实验室SEM价格

电子束光刻机


优于15nm线宽光刻设备, 半导体电子束曝光机, 科研级EBL价格, 晶圆直写系统

DMD无掩膜光刻机


小型光刻机价格, 实验室光刻设备, 微纳加工光刻机, 桌面级无掩模曝光机

手动台阶仪JS10C


0.5nm重复精度台阶仪, 金刚石探针台阶仪, 薄膜厚度测量设备, 国产高精度台阶仪

半自动台阶仪JS100C/200C/300C


0.5nm重复精度台阶仪, 12寸晶圆测量设备, 金刚石探针台阶仪, 薄膜应力测量系统

全自动台阶仪JS2000C/3000C


0.5nm重复精度台阶仪, 进口自动台阶仪替代, 批量晶圆测试设备, 透明晶圆测量方案

手动台阶仪ZS10A


半导体薄膜台阶测量,MEMS器件表面形貌分析,光学镀膜厚度检测

半自动台阶仪ZS100A/200A/300A


半导体薄膜台阶测量,MEMS器件表面形貌分析,光学镀膜厚度检测

全自动台阶仪ZS2000A/3000A


半导体薄膜台阶测量,MEMS器件表面形貌分析,光学镀膜厚度检测

原位MEMS液体电化学测量系统


液体电化学测量系统

SEM原位MEMS气氛台


MEMS气氛环境微腔、加热模块