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半自动台阶仪ZS100A/200A/300A


半导体薄膜台阶测量,MEMS器件表面形貌分析,光学镀膜厚度检测

全自动台阶仪ZS2000A/3000A


半导体薄膜台阶测量,MEMS器件表面形貌分析,光学镀膜厚度检测

原位MEMS液体电化学测量系统


液体电化学测量系统

SEM原位MEMS气氛台


MEMS气氛环境微腔、加热模块

SEM原位高温拉伸台


力学拉伸模块、高温环境模块

SEM原位液体电化学台


原位液体解决方案

SEM原位热电芯片台


可搭配电学测试

二维材料转移台


二维材料的精准转角调控

SEM真空传输盒


可定制、外接电学接口

SEM低温/冷冻真空传输系统


360°旋转冷台、冷阱

SEM纳米探针台


分辨率高、尺寸紧凑、行程大

SEM纳米力学台


纳米压痕仪
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