ZEM Ultra场发射扫描电镜
ZEM Ultra场发射扫描电镜
泽攸科技ZEM Ultra场发射扫描电镜——优于2.5nm超高分辨率桌面SEM。采用肖特基电子枪+三级真空系统，支持100万倍放大及EDS/EBSD分析。适用纳米材料、电池研发、半导体检测领域
产品描述
肖特基场发射扫描电镜
ZEM Ultra
肖特基场发射电子源
扫描电镜的性能巅峰
优于2.5nm分辨率 | 100万倍放大倍数
极致分辨，微纳之巅
打破设备的性能边界
ZEM Ultra 扫描电镜采用了先进的肖特基场发射电子源，配合独特的三级独立真空设计。这种设计确保了优于2.5nm的分辨率，完美满足多数样品微纳结构的表征需求。
不只是清晰。ZEM Ultra 标配大束流以及超大样品仓，这为其强大的扩展性奠定了基础。它支持集成原位功能样品台及 EDS、EBSD 等高端分析附件，是科研与工业检测的全能旗舰平台。
ZEM系列扫描电镜
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| 产品型号 | ZEM Ultra | ZEM30 Pro | ZEM30 | ZEM20 Pro | ZEM20 | ZEM18 | ZEM10 |
| 分辨率 | ＜2.5nm | 2.5nm | 3nm | 3nm | 4nm | ＜6nm | ＜10nm |
| 最大放大倍数 | 100万倍 | 50万倍 | 50万倍 | 50万倍 | 36万倍 | 36万倍 | 25万倍 |
| 电子枪 | 肖特基场发射 | 六硼化镧 | 钨灯丝 | 六硼化镧 | 钨灯丝 | 钨灯丝 | 钨灯丝 |
| 加速电压 | 1-15kV连续可调 | 3-30kV连续可调 | 3-30kV连续可调 | 3-20kV连续可调 （可增加到30kV） | 3-20kV连续可调 （可增加到30kV） | 3-20kV连续可调 | 5kV/10kV/15kV |
| 探测器类型 | SE BSE EDS（选配） | SE BSE EDS（选配） | SE BSE EDS（选配） | SE BSE EDS（选配） | SE BSE EDS（选配） | SE BSE EDS（选配） | SE 或 BSE |
| 原位拓展功能 | 具备 | 具备 | 具备 | 具备 | 具备 | 具备 | —— |
应用案例
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