半自动台阶仪JS100C/200C/300C
半自动台阶仪（探针式轮廓仪）
泽攸科技JS100C/JS200C/JS300C 半自动台阶仪（探针式轮廓仪），该系列为国产自研半自动高精度台阶仪，针对半导体、光电子、MEMS 等工业与科研场景设计，支持不同尺寸晶圆与多样品测量。采用电动精准控制，测量过程高效稳定，可实现台阶、粗糙度、应力及三维形貌扫描成像，性能可靠、重复性优异。模块化结构便于维护，本土化研发带来快速响应售后，全面贴合国内用户使用习惯。
所属分类：
产品描述
台阶仪
JS100C / JS200C / JS300C 半自动台阶仪
半自动精准量测
工业与科研场景的高效检测方案
电动定位 | 功能全面
泽攸科技 JS100C / JS200C / JS300C 半自动台阶仪（探针式轮廓仪），该系列为国产自研半自动高精度台阶仪，针对半导体、光电子、MEMS 等工业与科研场景设计，支持不同尺寸晶圆与多样品测量。采用电动精准控制，测量过程高效稳定，可实现台阶、粗糙度、应力及三维形貌扫描成像，性能可靠、重复性优异。模块化结构便于维护，本土化研发带来快速响应售后，全面贴合国内用户使用习惯。
主要技术参数
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| 产品型号 | JS10C | JS100C / 200C / 300C | JS2000C / 3000C |
| 自动化程度 | 手动版 | 半自动版 | 全自动版 |
| 晶圆尺寸 | 6寸 | 6 / 8 / 12寸 | 8 / 12寸（兼容下级） |
| 运动控制 | 手动控制（X/Y） 旋转（RZ） | 电动控制（X/Y） 旋转（RZ） | 全自动精准定位及传送 |
| 软件功能 | 台阶、粗糙度等 表面形貌测量 | 台阶、粗糙度等表面形貌测量 应力测量和3D扫描成像 | 数据处理：台阶、粗糙度、 平整度和翘曲度测量 应力测试和3D扫描成像 数据通讯：SECS通讯接口 |
应用案例
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