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全自动台阶仪JS2000C/3000C

全自动台阶仪（探针式轮廓仪）

泽攸科技JS2000C/JS3000C 全自动台阶仪（探针式轮廓仪），此系列为高端全自动量产型台阶仪，面向大尺寸晶圆规模化检测打造，具备智能图像识别与全自动测量能力，可实现高速稳定的批量检测，适配产线高效率作业需求。仪器支持全面的形貌与应力测量功能，数据精准稳定、长期一致性好，配备标准化通讯接口，可无缝对接工厂自动化系统，是高端制造与半导体国产化量测的核心装备。

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产品描述

台阶仪

JS2000C / JS3000C 全自动台阶仪

全自动量产型量测
大尺寸晶圆规模化检测核心装备

智能高效 | 产线适配

泽攸科技 JS2000C / JS3000C 全自动台阶仪（探针式轮廓仪），此系列为高端全自动量产型台阶仪，面向大尺寸晶圆规模化检测打造，具备智能图像识别与全自动测量能力，可实现高速稳定的批量检测，适配产线高效率作业需求。仪器支持全面的形貌与应力测量功能，数据精准稳定、长期一致性好，配备标准化通讯接口，可无缝对接工厂自动化系统，是高端制造与半导体国产化量测的核心装备。

主要技术参数

全系覆盖，选择你心仪的台阶仪

产品型号	JS10C	JS100C / 200C / 300C	JS2000C / 3000C
自动化程度	手动版	半自动版	全自动版
晶圆尺寸	6寸	6 / 8 / 12寸	8 / 12寸（兼容下级）
运动控制	手动控制（X/Y）旋转（RZ）	电动控制（X/Y）旋转（RZ）	全自动精准定位及传送
软件功能	台阶、粗糙度等表面形貌测量	台阶、粗糙度等表面形貌测量应力测量和3D扫描成像	数据处理：台阶、粗糙度、平整度和翘曲度测量应力测试和3D扫描成像数据通讯：SECS通讯接口