SMG26增量式光栅

体积小、结构紧凑、微观世界的精准尺度、专为超高真空与极端工况设计

泽攸科技自主研发的 SMG26,是对“Tools for Small World”理念的完美诠释。我们采用超微型封装设计,将读数头尺寸压缩至不可思议的 4.3mm × 11mm × 16.8mm。

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产品描述

SMG26

微观世界的精准尺度
超微型增量式光栅系统

4nm 分辨率 | 4.3mm 厚度

极致紧凑,
为狭小空间而生。

泽攸科技自主研发的 SMG26,是对“Tools for Small World”理念的完美诠释。我们采用超微型封装设计,将读数头尺寸压缩至不可思议的 4.3mm × 11mm × 16.8mm

这意味着,无论是精密的激光扫描仪、复杂的坐标测量机关节臂,还是内部空间寸土寸金的半导体制造设备,SMG26 都能轻松潜入。我们提供铝合金封装与 PCBA 两种形态,让您的设计不再受制于空间。

4nm

极致分辨率

配合 TF 细分盒,最高支持 64k 细分。

95%

耐湿性

支持 95%RH (非冷凝) 湿度环境。

±0.1

安装公差

智能调节 LED 亮度与相位。

技术规格详情

通用电气与机械参数
供电电压 5V ±10%
最大功耗 1.5W
工作/存储温度 -40℃至+100℃ (工作) / -20℃至+70℃ (存储)
线缆规格 8芯高柔性屏蔽线缆 (特氟龙外皮), 外径 1.9mm, 最大长度 10m
栅距 256µm
栅尺选型指南
参数 钢带栅尺 玻璃栅尺
材料 不锈钢 玻璃
尺寸 (高×宽) 0.4mm × 8mm (含背胶) 1.15mm × 3.8mm (含背胶)
长度范围 最大 1500mm 最大 120mm
热膨胀系数 10.2 µm/m/℃ 8 µm/m/℃
精度 (20℃) ±5 µm/m ±5 µm/m
接口信号定义 (TF-15 细分盒 DB15)
信号类型 信号名称 引脚序号
电源 5V / GND 7, 8 (5V) / 2, 9 (GND)
增量信号 A+ / A- 14 / 6
增量信号 B+ / B- 13 / 5
原点信号 Z+ / Z- 12 / 4
分辨率与速度特性 (栅距 256µm)
细分倍数 分辨率 最高速度 (32MHz) 最高速度 (4MHz)
256 1000 nm 32 m/s 4 m/s
1280 200 nm 6.4 m/s 0.8 m/s
6400 40 nm 1.28 m/s 0.16 m/s
64k 4 nm 0.128 m/s 0.016 m/s

开启精密控制新纪元

泽攸科技自主研发,专为高端应用打造

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