自动压力探针台
自动压力探针台ATS 1500
自动压力探针台是泽攸科技专为压力传感器生产线自动化筛选而设计的交钥匙一体化解决方案。系统由温控压力自动探针台、自动测试软件、配套探针卡与测试仪器组成，支持不同类型的 MEMS 芯片规格，测试数据格式可按需求定制输出。
所属分类：
产品描述
探针台系列
自动压力探针台
面向压力传感器产线的
交钥匙式自动化测试解决方案
整晶圆自动测试 | MEMS 压力芯片 | ATE2000 软件平台
自动压力探针台是泽攸科技专为压力传感器生产线自动化筛选而设计的交钥匙一体化解决方案。系统由温控压力自动探针台、自动测试软件、配套探针卡与测试仪器组成，支持不同类型的 MEMS 芯片规格，测试数据格式可按需求定制输出。
系统自动化程度高，支持整晶圆自动化测试、芯片自动扎针对准与软件自动测试，覆盖零位电压、功耗及不同压力下的输出信号等测试参数。ATE2000 参数化自动测试软件平台支持测试项目的定义与编辑、用户权限与测试序列配置管理，数据可导出 CSV/EXCEL 报表并上传至企业服务器，真正服务于产线测试；软硬件平台化结构，可扩展升级其他器件与参数测试。
主要技术参数
自动化测试，为产线筛选而生
产品型号：ATST 1500
测试直径：6 寸
行程范围：X-Y 轴 150mm，Z 轴 15mm，R 轴 360°
定位精度：X/Y/Z 轴 ±0.005mm，R 轴 ±0.05°
探针臂：调节行程 X/Y 各 50mm，调节精度 5µm
显微镜倍率：0.5X~5.0X（使用 1X 附加物镜时）
探针频率：26GHz~100GHz（可选）
部分客户
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