微纳探针台

微纳探针台ZP3-4

微纳探针台是泽攸科技推出的紧凑型微纳测量系统,可在纳米尺度上对样品和测试设备进行电学表征。整机采用压电陶瓷驱动,每个探头配备一个三轴探针臂,可在XYZ三个方向独立调整,通过只动上滑杆实现精确的纳米级微调,定位快速而稳定。

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产品描述

探针台系列

微纳探针台

纳米尺度上的电学表征
快速、准确、稳定的微纳测量平台

压电驱动 | 4 探针头 | 纳米级定位

微纳探针台是泽攸科技推出的紧凑型微纳测量系统,可在纳米尺度上对样品和测试设备进行电学表征。整机采用压电陶瓷驱动,每个探头配备一个三轴探针臂,可在XYZ三个方向独立调整,通过只动上滑杆实现精确的纳米级微调,定位快速而稳定。

系统支持手机控制,操作直观方便;配合 SR-ScopeDriver 自由电源测量系统,可方便地进行电压、电流测量,满足压电陶瓷、MEMS、纳米线等微纳结构的 I-V 特性测量需求。整机高度集成,内置磁场干扰测量模块、接地与衬底电压导轨等设计,弱信号测量更加可靠,并可在真空、大气、纯氮气氛等多种工作条件下使用,也可拓展至手套箱、真空腔体、光学试验台等工作平台。

主要技术参数

纳米级定位,多场景电学测量

产品型号:ZP3-4

探针配置:4 个探头,各配 1 个三轴探针臂(X/Y/Z 三自由度,压电驱动)

运动范围:20mm×20mm(X/Y),10mm(Z)

运动分辨率:1nm(X/Y),10nm(Z)

显微镜:光学分辨率 1µm,整体放大 50~500 倍

电学测量接口:4 个 BNC 同轴连接器,电压 ±100V,电流 100fA~100mA

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