手动常温探针台

手动常温探针台

手动常温探针台是泽攸科技自主研发的高可靠性探针台系统,主要应用于半导体/微电子、电子、机电、物理、化学、材料、光电、纳米、微机电/MEMS、生物芯片、航空航天等科学研究领域,以及 IC 设计/制造/测试/封装等领域。台体设有真空吸气孔,利用负压吸附样品,最大程度减少对样品的损伤。

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产品描述

探针台系列

手动常温探针台

手动粗细调,节省测试时间
高可靠性的常温精密测试平台

手动操作 | 标配 4 探针臂 | 最大 6 英寸

手动常温探针台是泽攸科技自主研发的高可靠性探针台系统,主要应用于半导体/微电子、电子、机电、物理、化学、材料、光电、纳米、微机电/MEMS、生物芯片、航空航天等科学研究领域,以及 IC 设计/制造/测试/封装等领域。台体设有真空吸气孔,利用负压吸附样品,最大程度减少对样品的损伤。

系统采用手动粗细调结合的定位方式,可灵活改变测试尺寸,显著节省测试时间;模块化设计支持更换关键部件,结构简洁、操作方便。无磁真空吸附样品台与超低漏电探针设计相结合,为器件电学测量提供稳定可靠的接触与信号质量。

主要技术参数

手动精调,稳定可靠的常温测量

可测晶圆:最大 6 英寸

探针臂:标配 4 个,最多可装 6 个

移动分辨率:0.001mm

晶圆固定方式:晶圆真空吸附

探针座:磁性吸附底座

漏电精度:优于 300fA

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