低温液氮探针台
低温液氮探针台LN-4H-06
低温液氮探针台产品主要是由真空腔体、探针控制、显微镜模块、变温样品台、进口分子泵组、全旺程真空规、智能温控仪等组成。
所属分类：
产品描述
探针台系列
低温液氮探针台
80K 超低温至 520K 宽温域
高真空高精度的器件电性能测试平台
液氮制冷 | 6 探针臂 | 可接入光纤
低温液氮探针台 是专为半导体器件与微纳米材料电性能测试打造的超高真空低温测试平台，可在 80K~520K 宽温域内稳定运行，为全国各大高校、科研院所及企事业单位的材料与器件研究提供可靠的低温测量环境。
系统采用液氮制冷与分子泵高真空腔体，标配 6 个探针臂与 Triax 三同轴低漏电线缆，配合连续变倍显微镜与全高清数字摄像头，可实现从室温到深低温的精准电学表征；并可接入光纤，将电学探针替换为光纤以满足特殊测试需求。
主要技术参数
超高真空与超低温兼备，精准电学表征
产品型号：LN-4H-06
真空腔体：5.0×10⁻³ Pa（常温），预留 2 个用户法兰接口
探针系统：6 个探针臂，调节精度 ±0.01mm，配 Triax 三同轴低漏电线缆
显微观测：连续变倍显微镜 0.5X~5X，分辨率优于 2µm，全高清数字摄像头
变温范围：80K~520K，控温稳定优于 ±0.5K
样品规格：兼容 6 / 8 / 12 寸，50mm 方形样品台
可选配置：可接入光纤（将电学探针替换为光纤）、4 探针臂、1X~10X 物镜、26~100GHz 探针频率
应用领域
宽温域电学表征，赋能前沿研究
低温液氮探针台广泛应用于二维材料、半导体器件、光电与热电材料的电性能测试，覆盖室温至深低温的 IV 特性、变温输运、光电响应、热电特性与气敏传感等多类前沿研究，是微纳米科学与半导体领域的得力测试装备。
应用案例
均为使用本设备发表的论文
1、室温真空或大气环境下器件电性能测量
例：单层二硫化钨场效应晶体管的 IV 曲线和转移曲线
2、变温 IV 性能测量
例：二硫化钨 / 硅范德瓦尔斯异质结的变温输运研究
3、器件光电性能研究（灵敏度、量子效率、响应速度等）
例：InGaZnO 超晶格纳米线的超快光响应研究
4、材料热电性能的研究
例：利用真空温差热台测量材料的热电性能
5、气敏传感器的性能测试
例：二硫化钨薄膜湿度传感器
部分客户
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