线性压电位移台
MF系列、ML系列
泽攸科技线性压电位移台系列是专为追求极致定位精度与高可靠性应用而设计的超精密运动平台。该系列主要包含MF系列与ML系列，核心采用了先进的压电惯性驱动技术，突破了传统机械传动在精度上的瓶颈，能够实现亚纳米级的步进分辨率与卓越的定位稳定性。在结构设计上，MF系列与ML系列充分考虑了复杂科研及工业环境的需求，具有结构紧凑、无需润滑以及百分百真空兼容等特性，能够在极高真空或严苛环境下保持长期稳定的运行。该系列位移台广泛应用于半导体检测、精密光学对准、微纳加工以及原位显微测量等领域，为用户提供稳健、平滑且极具精度的直线运动控制解决方案。
所属分类：
产品描述
纳米位移台
线性压电位移台系列
亚纳米级步进，真空兼容
超精密直线运动的可靠之选
MF 系列 | ML 系列 | 压电惯性驱动 | 百分百真空兼容
泽攸科技线性压电位移台系列是专为追求极致定位精度与高可靠性应用而设计的超精密运动平台。该系列主要包含 MF 系列与 ML 系列，核心采用先进的压电惯性驱动技术，突破了传统机械传动在精度上的瓶颈，能够实现亚纳米级的步进分辨率与卓越的定位稳定性。
在结构设计上，MF 与 ML 系列充分考虑了复杂科研及工业环境的需求，具有结构紧凑、无需润滑以及百分百真空兼容等特性，能够在极高真空或严苛环境下保持长期稳定的运行。该系列位移台广泛应用于半导体检测、精密光学对准、微纳加工以及原位显微测量等领域，为用户提供稳健、平滑且极具精度的直线运动控制解决方案。
主要技术参数
精密驱动与稳定结构
主动轴：单轴 X 向直线运动
驱动方式：压电惯性驱动
最小位移：纳米级步进分辨率
台体材料：不锈钢
导向结构：交叉滚柱导轨
位置反馈：增量直线光栅尺
产品型号
MF 与 ML 两大系列，覆盖多样行程需求
MF 系列：MF30-20、MF30-30、MF30-40、MF30-50、MF30-60、MF40-25
ML 系列：ML-15、ML-23、ML-37、ML-92A
应用领域
精密定位，赋能多领域
泽攸科技纳米位移台凭借优异的精密定位能力，广泛应用于半导体产业、精密光学工程、材料科学研究、生物医疗、精密计量检测以及航空航天等多个领域，深度赋能微纳制造、高端仪器研发与前沿科学实验，是各类高精度装备与科研平台中至关重要的核心配套部件。
部分客户
众多高校、科研机构与企业的信赖之选
开启超精密运动控制之旅
泽攸科技自主研发，提供选型咨询与深度定制方案
获取最新资料手册
