双轴位移台
XYMF系列
泽攸科技XYMF系列双轴位移台是针对复杂二维空间精密定位需求而设计的核心运动模组。该系列采用了先进的压电惯性驱动技术，通过精密的设计将两个维度的运动轴高度集成，实现了在宏观行程内的亚纳米级步进分辨率。XYMF系列结构紧凑且具备极高的机械刚性，能够确保XY双轴运动的同步性与优异的正交精度。系统内置高精度非接触式直线光栅尺，支持全闭环控制，从而保证了卓越的重复定位性能与长期运行稳定性。凭借其无需润滑、百分百真空兼容的特性，该系列广泛应用于半导体芯片检测、光刻机工件台、微生物操纵以及超精密组装等尖端领域。作为精密量测与微纳加工的关键组件，XYMF系列能够为科研与工业用户提供稳定可靠的二维超精密位移控制解决方案。
所属分类：
产品描述
纳米位移台
XYMF系列双轴位移台
亚纳米级步进，双轴同步
二维超精密定位的可靠之选
XYMF 系列 | 压电惯性驱动 | 非接触式光栅全闭环 | 百分百真空兼容
泽攸科技 XYMF 系列双轴位移台是针对复杂二维空间精密定位需求而设计的核心运动模组。该系列采用先进的压电惯性驱动技术，将 XY 双维运动轴高度集成，在宏观行程内实现亚纳米级的步进分辨率。
在结构设计上，XYMF 系列具备结构紧凑与极高的机械刚性，确保双轴运动的同步性与优异的正交精度；系统内置高精度非接触式直线光栅尺，支持全闭环控制，保证卓越的重复定位性能与长期稳定性。凭借无需润滑、百分百真空兼容的特性，该系列广泛应用于半导体芯片检测、光刻机工件台、微生物操纵以及超精密组装等尖端领域。
主要技术参数
精密驱动与稳定结构
主动轴：XY 双轴运动
驱动方式：压电惯性驱动
最小位移：纳米级步进分辨率
台体材料：铝合金
导向结构：交叉滚柱导轨
位置反馈：增量直线光栅尺
产品型号
XYMF 系列，覆盖多样行程需求
XYMF 系列：XYMF110-65、XYMF125-75、XYMF138-100、XYMF140-85、XYMF155-95、XYMF158-120、XYMF170-100、XYMF180-110
应用领域
精密定位，赋能多领域
泽攸科技纳米位移台凭借优异的精密定位能力，广泛应用于半导体产业、精密光学工程、材料科学研究、生物医疗、精密计量检测以及航空航天等多个领域，深度赋能微纳制造、高端仪器研发与前沿科学实验，是各类高精度装备与科研平台中至关重要的核心配套部件。
部分客户
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