超声压电位移台系列
CSMF、CSML、CSMZ、CSXYMF系列
泽攸科技超声压电位移台系列是专为满足高速、长行程及高精度运动控制需求而开发的超精密运动平台。该系列核心采用高性能超声驱动技术，显著提升了位移台的动态响应速度与运动平稳性，有效解决了传统驱动方式在速度上的局限。超声压电位移台系列在设计上兼顾了高刚性与结构紧凑性，使其在有限的空间内依然能够表现出卓越的定位分辨率。此外得益于超声驱动的独特优势，该系列位移台在断电状态下具有极高的位置保持力，并维持了产品标志性的无需润滑与百分百真空兼容特性。无论是在半导体工业的精密量测，还是生物科技领域的微操纵任务中，超声压电位移台系列都能提供高效且可靠的运动保障。
所属分类：
产品描述
纳米位移台
超声压电位移台系列
超声驱动，高速长行程
超精密运动的可靠之选
CSMF | CSML | CSMZ | CSXYMF 系列 | 超声驱动 | 百分百真空兼容
泽攸科技超声压电位移台系列是专为满足高速、长行程及高精度运动控制需求而开发的超精密运动平台。该系列核心采用高性能超声驱动技术，显著提升了位移台的动态响应速度与运动平稳性，有效解决了传统驱动方式在速度上的局限，在有限空间内依然表现出卓越的定位分辨率与高刚性。
得益于超声驱动的独特优势，该系列位移台在断电状态下具有极高的位置保持力，并维持了产品标志性的无需润滑与百分百真空兼容特性。无论是在半导体工业的精密量测，还是生物科技领域的微操纵任务中，超声压电位移台系列都能提供高效且可靠的运动保障。
主要技术参数
精密驱动与稳定结构
主动轴：X 轴（XY 轴）直线运动
驱动方式：超声驱动
最小位移：纳米级步进分辨率
台体材料：铝合金
导向结构：交叉滚柱导轨
位置反馈：增量直线光栅尺（或绝对式）
产品型号
四大系列，覆盖多样行程与轴数需求
CSMF 系列：CSMF110-65、CSMF125-75
CSML 系列：CSML50-20、CSML50-50、CSML75-40、CSML75-60、CSML75-100、CSML100-100、CSML100-200、CSML150-150、CSML150-200
CSMZ 系列：CSMZ85-10
CSXYMF 系列：CSXYMF110-65、CSXYMF125-75
应用领域
精密定位，赋能多领域
泽攸科技纳米位移台凭借优异的精密定位能力，广泛应用于半导体产业、精密光学工程、材料科学研究、生物医疗、精密计量检测以及航空航天等多个领域，深度赋能微纳制造、高端仪器研发与前沿科学实验，是各类高精度装备与科研平台中至关重要的核心配套部件。
部分客户
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