压电倾摆台系列
RA系列
泽攸科技压电倾摆台系列是专为满足复杂光路对准及精密角度调节需求而设计的超精密运动平台。该系列产品核心采用先进的压电驱动技术，通过精密设计的机械结构实现了在有限空间内的高刚性角摆运动。倾摆台集成了高分辨率的弧形光栅传感器，配合先进的控制算法，能够提供卓越的闭环控制精度与重复定位性能。其运动过程平滑且响应迅速，非常适合应用于半导体检测、精密光学调节以及束线实验等对动态性能有严苛要求的领域。得益于全固态结构及无需润滑的特性，该系列展现出优异的真空兼容性，确保了在各种特殊工况下的长期运行稳定性。
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产品描述
泽攸科技压电倾摆台系列是专为满足复杂光路对准及精密角度调节需求而设计的超精密运动平台。该系列产品核心采用先进的压电驱动技术，通过精密设计的机械结构实现了在有限空间内的高刚性角摆运动。倾摆台集成了高分辨率的弧形光栅传感器，配合先进的控制算法，能够提供卓越的闭环控制精度与重复定位性能。其运动过程平滑且响应迅速，非常适合应用于半导体检测、精密光学调节以及束线实验等对动态性能有严苛要求的领域。得益于全固态结构及无需润滑的特性，该系列展现出优异的真空兼容性，确保了在各种特殊工况下的长期运行稳定性。
主要参数 | |
主动轴 | R轴 |
驱动 | 压电惯性驱动 |
最小旋转角度 | 0.0005 ° |
材料 | 铝合金 |
导轨 | 交叉滚柱导轨 |
传感 | 弧形光栅 |
RA系列：RA50-20
泽攸科技纳米位移台凭借优异的精密定位能力，广泛应用于半导体产业、精密光学工程、材料科学研究、生物医疗、精密计量检测以及航空航天等多个领域，深度赋能微纳制造、高端仪器研发与前沿科学实验，是各类高精度装备与科研平台中至关重要的核心配套部件。
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