SEM纳米力学台
纳米压痕仪
PicoFemto NI-100 SEM纳米力测量将纳米压痕仪集成进扫描电镜中，使用户可以在扫描电镜中进行原位纳米压痕研究。
所属分类：
产品描述
泽攸科技PicoFemto NI-100 扫描电镜纳米力学样品台是研究材料变形行为和微观失效机制的重要工具，能够精确量化微纳米级材料的力学行为，并结合扫描电镜原位观测。纳米力学样品台可以选配多种加载模块：拉伸、压缩、压痕等。
• 产品特色
▲ 易用性强
▲ 兼容扩展性强
▲ 加热，光学等多种模块可选
▲ 闭环高精度、大量程力学测量
▲ 闭环纳米尺度微动台控制，位移更加精确
▲ 压痕、划痕、压缩等多种模式可选
▲ 超高稳定性，轻松获得高质量原位视频
• 应用案例
纳米力台拉伸过程（左） 纳米力台压缩过程（右）
纳米力台微球压碎过程
• 技术参数
名称 | 参数 | |
功能 | 压痕，压缩，拉伸 | |
载荷量程 | 100mN | |
力传感分辨率 | 10uN | |
响应时间 | 50ms | |
微调台X/Y | 模式 | 闭环控制 |
行程 | 100(±20)um | |
精度 | 20nm | |
粗调台X/Y/Z | 模式 | 开环控制 |
行程 | XY轴±10mm、Z轴行程10mm | |
最小步长 | ≤1nm | |
标准纳米力台尺寸 | 130*65*55mm | |
裸台重量 | 约300g(压痕) | |
样品尺寸 | ≤30*30mm | |
选配模块 | 加热(最高400℃)、加电 | |
• 经典案例
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