3轴探针台单模组系列
TZ系列
泽攸科技TZ系列3轴探针台单模组是专为电子显微镜原位实验及精密微操纵任务量身定制的高度集成化运动方案。该系列模组通过紧凑的空间布局设计，巧妙地实现了XYZ三轴的精密联动与独立控制，能够在极小的物理空间内提供多维度的超精密定位能力。作为原位纳米探针台的核心组件，TZ系列具备步进与扫描双模式工作特性，既能满足大范围内的快速找样，又能实现亚纳米量级的精细运动与精准表征。得益于其卓越的机械刚性和百分百真空兼容性，该系列在半导体芯片检测、二维材料电学测量及微纳加工等尖端领域表现出色，能够确保在复杂的电镜环境下长期保持极高的定位稳定性和操作可靠性。
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产品描述
泽攸科技TZ系列3轴探针台单模组是专为电子显微镜原位实验及精密微操纵任务量身定制的高度集成化运动方案。该系列模组通过紧凑的空间布局设计，巧妙地实现了XYZ三轴的精密联动与独立控制，能够在极小的物理空间内提供多维度的超精密定位能力。作为原位纳米探针台的核心组件，TZ系列具备步进与扫描双模式工作特性，既能满足大范围内的快速找样，又能实现亚纳米量级的精细运动与精准表征。得益于其卓越的机械刚性和百分百真空兼容性，该系列在半导体芯片检测、二维材料电学测量及微纳加工等尖端领域表现出色，能够确保在复杂的电镜环境下长期保持极高的定位稳定性和操作可靠性。
主要参数 | |
主动轴 | XYZ轴 / XYR轴 |
驱动 | 压电惯性驱动 |
最小位移 | 10 nm |
材料 | 钛合金 / 不锈钢 |
导轨 | 交叉滚柱导轨 |
TZ系列：TZ-12、TZ-20、TZ-20K
若您在半导体检测、微纳加工或电镜原位实验中对行程与精度的平衡有特殊要求，欢迎随时拨打我们的技术热线400-966-2800，泽攸科技的工程师将为您提供详尽的选型咨询与深度定制方案。
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