SEM纳米探针台
SEM纳米探针台
SEM纳米探针台产品实现了三维空间上的准确定位， 它具有分辨率高，尺寸紧凑，行程大，操作简单，能在真空下使用等优点，可应于SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作。SEM纳米探针台产品使用压电陶瓷驱动，运无需润滑，百分真空兼容，并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到纳米级。步进和扫描双模式工作，在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。三轴探针台由三个单轴运动台组合而成。一SEM腔体内可安装多个。
所属分类：
产品描述
扫描电镜原位附件
PicoFemto扫描电镜纳米探针台
三维空间精确定位，兼容高真空
微纳操纵与原位测量的得力工具
纳米操纵 | 原位测量 | 高真空兼容 | 多探针选配
泽攸科技 PicoFemto 扫描电镜纳米探针台实现了三维空间上的精确定位，具有小尺寸大行程、高精度及易操作等优点，同时兼容高真空，是扫描电镜重要的原位功能附件。一个 SEM 腔体内可安装多个三轴探针台，平台可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵与测量头，实现微纳操纵和测量。
标准配置包含探针主体、适配 SEM/FIB 的底座、过真空法兰、探针控制器及控制手柄；可选配低温、高温样品台、光纤夹头和光纤真空馈通、EBIC 套件等，灵活拓展各类实验能力。
产品特点
紧凑刚性，高精度柔性导向
结构紧凑，高刚性
零间隙，高精度柔性铰链导向系统
压电陶瓷位移平台具有超长使用寿命
内部可根据需求增加位置反馈
应用广泛：纳米材料操纵、纳米器件电学光电等物性测量、生物细胞 DNA 操作等
适配 SEM：日本电子、日立、FEI、TESCAN 等
主要技术参数
尺寸结构、运动精度与拓展配置
尺寸与结构
单个探针外形小巧紧凑
样品台面平面度高
整体轻量化设计
运动与精度
三轴 XYZ 大行程运动
支持快速运动与纳米级精细调节
细调分辨率达纳米级
应用案例
微纳操纵与原位测量实例
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部分客户
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