室温自动探针台
室温自动探针台TZ-H-06
室温自动探针台，高可靠性探针台系统，主要应用在半导体/微电子， 电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMs，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。
所属分类：
产品描述
探针台系列
室温自动探针台
X/Y/Z/R 多轴自动定位
高可靠性的室温精密测试平台
电机驱动 | 标配 4 探针臂 | 兼容 6/8/12 寸
室温自动探针台是泽攸科技自主研发的高可靠性探针台系统，主要应用于半导体/微电子、电子、机电、物理、化学、材料、光电、纳米、微机电/MEMS、生物芯片、航空航天等科学研究领域，以及 IC 设计制造与测试封装。
平台配备高精度位移台，可在 X、Y、Z、R 等方向实现自动调整，对阵列型器件测量可实现快速而准确的定位，兼顾效率与精度。经济实用、稳定性强、可升级扩展、操作方便是本产品的核心价值，已在各大高校、研究所及半导体行业广泛应用。
主要技术参数
多轴自动定位，快速精准测量
产品型号：TZ-H-06
探针臂：标配 4 个，可提供 4~8 个（均配 Triax 三同轴低漏电电缆）
测试直径：6/8/12 寸
自动定位精度：X/Y/Z 轴 ±0.005mm，R 轴 ±0.05°
显微镜倍率：光学 0.5X~5.0X（可选 2X 附加物镜）
探针频率：26GHz~100GHz（可选）
部分客户
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