纳米压电旋转位移台RF-5950A

高精度及高分辨率的开环/闭环控制

纳米压电旋转位移台RF-5950A,通过压电陶瓷驱动,具有定位精准,位置保持性好,自带锁紧,能360无限旋转等优点。在增强位置反馈模块后,可实现高精度及高分辨率的开环/闭环控制,适用于大气及真空环境下工作。

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产品描述

纳米压电旋转位移台RF-5950A,通过压电陶瓷驱动,具有定位精准,位置保持性好,自带锁紧,能360°无限旋转等优点。在增强位置反馈模块后,可实现高精度及高分辨率的开环/闭环控制,适用于大气及真空环境下工作。


• 应用案例

△ 电子显微镜原位纳米探针台

△ 半导体芯片检测

△ 光刻机工件台

△ 微生物操纵手

△ 光纤焊接

△ 超精密组装

△ 精密检测与测量

△ 高精度激光对焦 

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