Z轴升降台系列

MZ系列

泽攸科技MZ系列Z轴升降台是专为满足精密垂直位移需求而设计的超精密运动平台。该系列采用高稳定性导轨与先进驱动技术,确保了在垂直升降过程中的极高正交度与运动平滑性。MZ系列升降台结构设计坚固且紧凑,部分型号特别配备了恒力弹簧补偿机构,能够有效抵消负载重力的影响,从而在保证高负载承载能力的同时,依然维持了卓越的纳米级步进分辨率与定位稳定性。由于其出色的机械刚性与运动精度,该系列广泛应用于光学透镜调校、探针测试高度调节以及微纳米加工系统中的垂直轴定位。全系列产品支持高度定制化,并具备良好的环境兼容性,能够适配多种真空或洁净室工作环境。

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产品描述

纳米位移台

MZ系列Z轴升降台

精密垂直位移,纳米级步进  
高正交度与运动平滑性

压电惯性驱动 / 超声驱动 | 恒力弹簧补偿 | 交叉滚柱导轨

泽攸科技 MZ系列Z轴升降台 是专为满足精密垂直位移需求而设计的超精密运动平台。该系列采用高稳定性导轨与先进驱动技术,确保了在垂直升降过程中极高的正交度与运动平滑性。部分型号特别配备 恒力弹簧补偿机构,能够有效抵消负载重力影响,在保证高负载承载能力的同时,依然维持卓越的纳米级步进分辨率与定位稳定性。

MZ系列升降台结构设计坚固且紧凑,凭借出色的机械刚性与运动精度,广泛应用于光学透镜调校、探针测试高度调节以及微纳米加工系统中的垂直轴定位。全系列支持高度定制化,并具备良好的环境兼容性,能够适配多种真空或洁净室工作环境。

主要技术参数

精密驱动与稳定结构

主动轴:Z轴垂直运动

驱动方式:压电惯性驱动 / 超声驱动

最小位移:纳米级步进分辨率

台体材料:铝合金 / 不锈钢

导向结构:交叉滚柱导轨

位置反馈:增量直线光栅尺

产品型号

MZ 系列,覆盖多样行程需求

MZ 系列:MZ50-10B、MZ70-10B、MZ45-4.5A、MZ70-10A

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应用领域

精密定位,赋能多领域

泽攸科技纳米位移台凭借优异的精密定位能力,广泛应用于半导体产业、精密光学工程、材料科学研究、生物医疗、精密计量检测以及航空航天等多个领域,深度赋能微纳制造、高端仪器研发与前沿科学实验,是各类高精度装备与科研平台中至关重要的核心配套部件。

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