SEM原位MEMS气氛台
SEM原位MEMS气氛台
泽攸科技 PicoFemto 扫描电镜原位 MEMS 气氛台，将 MEMS 气氛环境微腔与加热模块集成到扫描电镜样品台上，在电镜腔体内构建可控气氛环境，并可对实验样品进行原位加热。依托这套系统，研究者可以在气氛环境中原位、动态、高分辨地表征样品的形貌结构与化学组分，实时观测催化反应、氧化还原反应、低维材料生长与合成以及各类腐蚀过程，把扫描电镜从一台静态成像工具升级为一间功能完整的纳米实验室。
所属分类：
产品描述
扫描电镜原位附件
PicoFemto扫描电镜原位MEMS气氛台
气氛环境与原位加热一体
让反应过程在电镜中实时可见
可控气氛 | 原位加热 | 动态高分辨成像 | 软件控制
泽攸科技 PicoFemto 扫描电镜原位 MEMS 气氛台，将 MEMS 气氛环境微腔与加热模块集成到扫描电镜样品台上，在电镜腔体内构建可控气氛环境，并可对实验样品进行原位加热。
依托这套系统，研究者可以在气氛环境中原位、动态、高分辨地表征样品的形貌结构与化学组分，实时观测催化反应、氧化还原反应、低维材料生长与合成以及各类腐蚀过程，把扫描电镜从一台静态成像工具升级为一间功能完整的纳米实验室。
主要性能指标
覆盖电镜兼容、反应微腔、热学与气路控制
扫描电镜指标
兼容指定类型扫描电镜
保证电镜原有的真空度
超薄氮化硅膜窗口
热学指标
原位加热，宽温域连续可调
温度稳定性优异
气体流动指标
三通道混气
多种气体可选，气体种类与流速按需配置
软件控制
部分客户
众多高校、科研机构与企业的信赖之选
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