泽攸科技 | 台阶仪测量时需要注意哪些事项？
发布时间：
2025-08-28
台阶仪作为高精度微观形貌测量设备，其测量结果的准确性和可靠性受多因素影响。
一、台阶仪测量时的注意事项
台阶仪作为高精度微观形貌测量设备，其测量结果的准确性和可靠性受多因素影响。结合泽攸科技技术文档及实际应用场景，测量时需重点关注以下事项：
1. 探针选择与压力控制
接触式台阶仪通过金刚石探针（尖端曲率半径可选）与样品表面接触实现测量，需严格控制探针施加力（通常为微牛级）。泽攸科技采用恒力控制系统（闭环反馈调节），支持0.5-50mg的力值范围，既能保证测量稳定性，又可避免软质材料（如聚合物、生物样品）因压力过大导致损伤。需注意：
探针尖端曲率半径需与样品表面粗糙度匹配（如测量纳米级结构时选择更细尖端）；
测量前需检查探针磨损情况，及时更换以保证精度。
2. 样品准备与固定
样品表面需清洁无污染物（如灰尘、油脂），否则会影响探针接触稳定性。对于易损或柔性样品（如有机薄膜、生物材料），需采用专用夹具或低应力固定方式，避免测量过程中样品变形。泽攸科技JS系列支持6寸、8寸、12寸晶圆及50mm高度样品的直接测量，样品台配备正视/侧视高像素相机，可辅助快速定位和固定。
3. 环境控制
测量环境需稳定，避免振动、气流干扰（如空调风、人员走动）。泽攸科技台阶仪（如JS2000C）采用气浮台或落地式结构，可有效隔离外界振动；部分型号支持温湿度监控，确保测量条件一致性。
4. 系统校准与初始化
测量前需完成系统校准，包括：
探针与样品台的垂直度校准（避免倾斜误差）；
零点校准（通过标准块校准初始台阶高度）；
光学导航系统校准（正视/侧视相机需精确对齐，确保扫描路径设置准确）。
5. 扫描参数优化
根据样品特性设置扫描参数：
扫描速度：高速扫描（如1000μm/s）适用于大面积均匀区域，低速扫描（如5μm/s）适用于精细结构（如纳米级台阶）；
扫描长度：需覆盖样品特征区域（如薄膜边缘、缺陷位置），避免因扫描范围不足导致数据缺失；
滤波与分析算法：根据需求选择均值滤波、高斯滤波等，去除高频噪声；3D扫描需设置合理的采样点数（泽攸科技支持200万点/次扫描），确保形貌重建精度。
6. 数据验证与复核
测量完成后需通过以下方式验证数据可靠性：
对比标准块（如1μm标准台阶）的测量结果，确认重复性（泽攸科技JS系列重复性≤0.5nm）；
对同一区域进行多次扫描，分析数据离散度（标准差≤0.5nm）；
结合其他表征手段（如AFM、光学显微镜）交叉验证，确保结果准确性。
二、泽攸科技：国产高端台阶仪的“精密测量标杆”
在全球精密制造与半导体国产化加速的背景下，泽攸科技以自主研发的JS系列台阶仪为核心，突破国外技术垄断，为材料科学、半导体、MEMS等领域提供了高精度、高稳定性的微观形貌测量解决方案。
（一）核心技术：自主创新，打破垄断
泽攸科技JS系列台阶仪搭载多项自研“硬核”技术，重新定义国产台阶仪性能标准：
双LVDT传感器技术：采用直立式双LVDT（线性可变差动变压器）测量结构，无需圆弧补偿，“所测即所得”；LVDT微动台重复性≤0.5nm（1μm标准块扫描30次），线性度偏差＜0.1%，垂直分辨率达0.05nm，媲美国际顶尖水平。
恒力控制与超平扫描：通过闭环反馈调节探针接触力（0.5-50mg），搭配超光滑平晶导轨与纳米光栅反馈系统，实现55mm扫描范围内平面度误差≤20nm（每2mm），确保大尺寸样品全域均匀性测量。
智能导航与3D扫描：配备正视/侧视高像素彩色相机（电子放大115倍），支持快速找样、路径设置及实时扫描监控；3D扫描功能可自动生成彩色表面形貌图，结合SPC统计分析（批量数据趋势监控），大幅提升测量效率。
（二）全场景覆盖：从实验室到产线的“全能选手”
泽攸科技JS系列涵盖手动（JS10C）、半自动（JS100C/200C/300C）、全自动（JS2000C）等多型号，适配不同场景需求：
半导体领域：JS2000B全自动型号集成EFEM晶圆传输系统，支持无人化2D/3D台阶高度、粗糙度、翘曲度测量，已应用于晶圆CMP工艺监控、MEMS器件表面形貌表征。
新能源与材料科学：通过3D扫描功能分析光伏薄膜（如CIGS）厚度均匀性及表面粗糙度，优化光电转换效率；测量锂电池电极表面形貌，评估循环寿命。
生物与医疗：低力值模式（0.5mg）可测量人工关节、药物涂层的微观形貌，确保生物相容性与缓释性能。
（三）客户认可：科研与产业的“信赖之选”
泽攸科技台阶仪已助力多项前沿研究：
复旦大学团队利用JS系列测量锡基钙钛矿薄膜厚度（35-40nm），支撑高迁移率p型晶体管研发（迁移率＞60 cm² V⁻¹ s⁻¹）；
天津大学通过JS10B测量准二维钙钛矿薄膜厚度，突破蓝光圆偏振电致发光（CP-EL）技术瓶颈；
国内外高校、科研院所及半导体企业（如中芯国际、长江存储）均将泽攸科技台阶仪纳入核心检测设备。
（四）服务承诺：国产替代的“全周期保障”
泽攸科技以“自主可控+本地化服务”为核心，提供：
快速响应：24小时技术支持，免费上门培训；
灵活选择：支持租赁试用，降低中小客户使用门槛；
持续升级：定期推送软件优化与硬件固件更新，确保设备性能与时俱进。
从实验室的纳米级表征到产线的批量检测，泽攸科技台阶仪以“中国精度”重新定义了高端测量设备的标准。无论是半导体工艺优化、新能源材料研发，还是生物医疗器件创新，泽攸科技始终以技术创新为驱动，为客户创造更大价值。选择泽攸科技，就是选择可靠、高效、自主的精密测量解决方案！
相关新闻
