泽攸科技 | 购买台阶仪时需要考虑哪些关键参数？
发布时间：
2025-08-22
在半导体、新材料、光学及MEMS等精密制造领域，台阶仪作为微观形貌测量的“火眼金睛”，其性能直接关系到产品质量与研发进度。面对市场上琳琅满目的产品，如何选择一台满足自身需求的高精度台阶仪？本文将为您解析五大关键选购参数，并介绍国产高端品牌——泽攸科技（ZEPTOOLS）的领先解决方案。
在半导体、新材料、光学及MEMS等精密制造领域，台阶仪作为微观形貌测量的“火眼金睛”，其性能直接关系到产品质量与研发进度。面对市场上琳琅满目的产品，如何选择一台满足自身需求的高精度台阶仪？本文将为您解析五大关键选购参数，并介绍国产高端品牌——泽攸科技（ZEPTOOLS）的领先解决方案。
选购台阶仪的五大关键参数
测量精度与重复性（Accuracy & Repeatability）
垂直分辨率：决定仪器能探测到的最小高度变化，通常要求达到亚纳米级（如0.05nm）。泽攸科技JS系列采用自主研发的双LVDT传感器技术，实现了0.05nm的极高垂直分辨率。
重复性：指对同一位置多次测量的结果一致性。泽攸科技台阶仪的重复性测量偏差可控制在≤0.5nm（1μm标准块重复扫描30次），保证了数据的可靠性与稳定性。
测量范围与行程（Measurement Range & Travel）
台阶高度范围：需覆盖从纳米级薄膜到微米级结构的测量需求。泽攸科技JS2000B等型号支持最大160μm的台阶高度测量，且后期可通过更换探针组件升级至1mm量程，应用扩展性强。
样品尺寸与厚度：需兼容不同尺寸的样品，如4寸至12寸晶圆。泽攸科技全自动型号支持最大12寸晶圆和厚度**≤50mm**的样品，满足工业级检测需求。
自动化与易用性（Automation & Usability）
对于需要高通量检测的产线环境，全自动化能力至关重要。泽攸科技JS2000B集成了EFEM晶圆传输系统，可实现无人化操作，生产效率（WPH）≥10片/小时，极大降低了人工成本与误差。
双导航光学系统（正视+侧视高清相机）可快速定位测量点、设置扫描路径并实时观察探针状态，使测量设置变得快速轻松。
核心技术与可靠性（Core Technology & Reliability）
测量原理：泽攸科技采用创新的直动式检测方案，摒弃了传统的杠杆式结构，无需圆弧补偿，避免了测量误差，实现了“所测即所得”。
力控制系统：探针施加的力需要精确控制，以防损伤软质材料表面。泽攸科技产品支持0.5mg~50mg的超微力控制，并通过专用软件实现自动控制，兼具稳定性与保护性。
功能多样性与数据分析（Functionality & Data Analysis）
一台优秀的台阶仪应具备2D/3D、台阶高度、粗糙度（Ra, Rq）、应力、翘曲度等多功能测量能力。
泽攸科技台阶仪软件支持SPC统计分析，可对批量样品的测量数据生成统计图表，追踪工艺趋势，同时还支持用户自定义扫描路径，功能强大且灵活。
泽攸科技：国产高端台阶仪的卓越之选
泽攸科技作为国内精密测量仪器的领军企业，其JS系列台阶仪已成功打破国外技术垄断，成为众多高校、科研院所及头部企业的首选品牌。
技术领先：采用自主研发的直立式双LVDT传感器、恒力控制系统和一体式花岗岩结构，在精度、稳定性和重复性上对标并超越国际同类产品。
产品矩阵丰富：提供从手动（JS10C）、半自动（JS100C/200C/300C）到全自动（JS2000B/3000C）的完整产品线，全面覆盖不同预算与应用场景的需求。
本土化服务优势：提供24小时技术响应、免费上门培训和租赁试用服务，有效降低了用户的使用门槛和后顾之忧，加速了精密测量仪器的国产化替代进程。
广泛应用验证：其产品已被广泛应用于半导体薄膜测量、钙钛矿光伏研究、MEMS器件表征、生物医疗材料检测等多个前沿领域，并助力多项研究成果发表于《Nature Communications》、《Science Advances》等顶级期刊，获得了市场的充分验证与信赖。
购买台阶仪是一项重要的投资。通过重点关注精度、范围、自动化、技术原理和功能这五大参数，您可以做出明智的选择。泽攸科技以卓越的产品性能、完善的解决方案和优质的本地化服务，为您提供了高性价比、高可靠性的国产高端选择，是赋能科技创新、实现精密量测的理想伙伴。
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