泽攸科技台阶仪全解析：手动/半自动/全自动类型差异与技术优势
发布时间：
2025-08-07
在精密测量领域，台阶仪作为表征材料表面形貌与台阶高度的核心设备，其性能直接影响科研与生产的精度。作为国内领先的精密测量仪器厂商，泽攸科技推出的JS系列台阶仪，凭借多样化类型、高精度性能及灵活升级能力，成为半导体、材料科学等领域的优选工具。本文将围绕泽攸科技台阶仪的主要类型、核心差异及技术优势展开详解。
在精密测量领域，台阶仪作为表征材料表面形貌与台阶高度的核心设备，其性能直接影响科研与生产的精度。作为国内领先的精密测量仪器厂商，泽攸科技推出的JS系列台阶仪，凭借多样化类型、高精度性能及灵活升级能力，成为半导体、材料科学等领域的优选工具。本文将围绕泽攸科技台阶仪的主要类型、核心差异及技术优势展开详解。
一、泽攸科技台阶仪的主要类型
泽攸科技JS系列台阶仪根据自动化程度与适用场景，分为手动型、半自动型、全自动型三大类，分别对应不同用户的测量需求。
1. 手动型台阶仪：JS 10C
JS 10C是面向基础手动测量的入门级产品，适合实验室或小批量样品的形貌分析。其核心特点为：
操作方式：样品台运动（X/Y水平、RZ旋转）依赖人工手动控制，灵活性高但效率较低；
样品适配：最大支持6寸样品，厚度≤50mm，适合中小尺寸、不透明或半透明材料（如硅、钽酸锂、玻璃等）的测量；
技术指标：最大测量范围160um，垂直分辨率0.05nm（满量程），重复性偏差≤0.5nm（10μm标准块重复扫描30次），标配曲率半径≥2μm的探针。
2. 半自动型台阶仪：JS 100C/200C/300C
JS 100C/200C/300C定位中高端，兼顾手动灵活性与部分自动化功能，适用于中等规模样品的批量测量。其升级点包括：
样品台控制：XY方向实现电动控制，旋转台分辨率达0.1°，大幅提升定位效率；
样品适配：支持更大尺寸样品（JS100C为6寸，JS200C为8寸，JS300C为12寸），主机重量随型号增大（350Kg~460Kg），稳定性更强；
技术指标：继承手动型的核心性能（如160um最大测量范围、0.05nm垂直分辨率），同时标配双相机（主相机115倍，辅助相机115倍），实时观察测量过程。
3. 全自动型台阶仪：JS 2000C/3000C
JS 2000C/3000C聚焦工业级大规模测量，专为高效率生产场景设计，核心优势在于“全流程自动化”：
生产效率：支持单次扫描长度≤55mm，WPH（每小时测量片数）≥10片（单面量测≥5个位置），马拉松传送测试＞500片，满足产线高频次需求；
智能化：集成图像识别系统（定位精度优于±10μm），可自动识别晶圆位置并规划测量路径；
兼容性：支持6寸、8寸晶圆，厚度≤50mm，材质覆盖硅、钽酸锂、玻璃等，适配半导体制造中的晶圆检测场景。
二、不同类型台阶仪的核心差异
1. 自动化程度与效率
手动型依赖人工操作，适合小批量、高精度科研场景；半自动型通过电动样品台提升定位效率，适合中等批量研发或小产线；全自动型则通过图像识别与机械自动化实现“一键测量”，是大规模量产检测的首选。
2. 样品适配能力
从样品尺寸看，手动型仅支持6寸，半自动型覆盖6~12寸，全自动型兼容6~8寸（侧重晶圆）；从样品厚度看，三类均支持≤50mm，满足多数材料需求。
3. 技术配置与成本
手动型主机重量仅60Kg，成本最低；半自动型因电动控制与更大样品台，重量增至350Kg以上，成本适中；全自动型集成图像识别与高稳定性机械结构，成本最高但效率显著提升。
三、泽攸台阶仪的技术优势：精度与灵活性的双重保障
1. 双LVDT传感器，精度行业领先
泽攸JS系列搭载双LVDT传感器（探针LVDT检测压力，微动台LVDT反馈位移），垂直分辨率达0.05nm，重复性偏差≤0.5nm（10μm标准块），线性度偏差＜千分之一，远超市面同类产品。
2. 灵活升级方案，降低长期成本
JS系列支持“后期兼容升级1mm量程”，仅需更换探针组件；JSB系列可通过更换粗调台、钣金外壳等部件升级为JSC系列，大幅延长设备生命周期。
3. 多场景适配，覆盖科研与工业
从手动实验室测量到全自动产线检测，泽攸台阶仪通过类型细分满足不同用户需求，配合ZS系列（台阶最大高度1000um、重复性0.4nm待验证）的高扩展能力，进一步夯实其在精密测量领域的竞争力。
结语
泽攸科技JS系列台阶仪以“手动-半自动-全自动”的全类型布局，结合双LVDT传感器、灵活升级等技术优势，为科研机构与工业企业提供了从基础研究到规模化生产的全链路解决方案。无论是实验室的精细形貌分析，还是产线的高效晶圆检测，泽攸台阶仪均能以高精度与高可靠性，助力用户提升研发效率与产品质量。
泽攸科技JS系列台阶仪
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