【泽攸科技】纳米级3D扫描揭秘：台阶仪如何“看”见表面微观世界？
发布时间：
2025-07-15
泽攸科技JS系列台阶仪
1. 3D扫描功能：泽攸台阶仪的“核心武器”
▲技术亮点：
o国产自研传感器：垂直分辨率达0.05nm（全量程），重复性精度0.5nm。
o智能防撞设计：触针保护。
o双LVDT：独有技术，自主首创。
▲对比优势：
o相比进口设备，泽攸台阶仪价格优势明显，服务响应速度和质量优势明显。
2. 泽攸3D扫描的解决方案
▲工作原理
接触式扫描：多数台阶仪使用金刚石或蓝宝石触针沿样品表面移动，通过位移传感器记录垂直方向的位移变化，结合XY轴的精密移动平台，构建3D形貌。
▲核心功能特点
高分辨率：
o垂直分辨率：0.05nm。
o水平分辨率：亚微米级。
多参数测量：
o表面粗糙度（Sa, Sq, Ra等）。
o台阶高度、薄膜厚度。
o表面波纹度、缺陷检测。
扫描模式：
o线扫描：单条轮廓线测量（2D）。
o面扫描：多线拼接形成3D形貌图。
3.典型应用场景
o半导体行业：测量晶圆上的薄膜厚度、光刻胶图形高度。
oMEMS/NEMS：微机电结构的形貌分析。
o材料科学：涂层、抛光表面的粗糙度评估。
o生物医学：人工关节、植入物表面特性检测。
4.3D扫描的关键参数
o扫描范围：XY轴行程和Z轴量程。
o扫描速度：平衡精度与效率（通常较慢，需数分钟至数小时）。
o数据密度：点间距越小，分辨率越高，但数据量越大。
5. 优势与局限性
▲优势：
o高精度，尤其适合微纳尺度测量。
o可测透明/反光材料（接触式不受光学特性影响）。
▲局限性：
o接触式可能划伤柔软样品。
o扫描速度慢，不适合大范围快速检测（相比白光干涉仪或激光共聚焦显微镜）。
6. 数据处理与输出
▲软件功能：
o3D形貌可视化（伪彩色高度图）。
o截面分析、自动台阶高度计算。
o数据可导出为ASC、CSV等格式，兼容MATLAB或Origin后期处理。
7. 选型建议
▲需求匹配：
o超精细测量（如原子层台阶）选高分辨率接触式。
o易损样品选光学非接触式。
8.为什么选择泽攸？
▲国产替代，自主首创；
▲服务保障：
o24小时技术响应，免费上门培训。
o租赁试用：降低中小客户使用门槛。
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