2025年泽攸科技精选自研科学仪器清单
发布时间：
2025-02-19
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2025年泽攸科技精选自研科学仪器清单如下：
台式扫描电镜、原位SEM、原位TEM、台阶仪、光刻机、二维材料转移台、纳米位移台、低温探针台、扫描隧道显微镜、化学气相沉积系统、光栅尺、压电物镜。
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ZEM系列台式扫描电镜
泽攸科技ZEM系列台式扫描电镜作为国产自研高端科学仪器的代表，集成了多项自主创新技术。该系列产品以超高分辨率成像、便捷操作体验和高度集成化设计为核心优势，提供场发射电子枪、单晶灯丝和钨灯丝三种电子源配置方案，其紧凑型设计使整机体积仅为传统电镜的20%，并对实验室环境的依赖性低，可稳定运行于工业现场等复杂场景。通过模块化配置和人性化交互界面设计，ZEM系列显著降低了设备使用门槛，操作人员经过30分钟培训即可掌握基本操作流程，目前已在新材料研发、新能源检测、半导体/微电子制造及生物医药分析等领域实现规模化应用。
PicoFemto原位TEM测量系统
泽攸科技PicoFemto原位TEM测量系统采用自主创新技术，成功实现光场、电场、力学、热场、低温、液态及气氛等多维度环境条件的精准集成。该系统通过构建真实工况下的纳米级实验室，使科研人员能够实时观测材料在复杂环境中的动态演变过程，为揭示微观机理提供关键数据支撑。目前该解决方案已服务于全球几十所顶尖科研机构，在新能源材料、半导体器件等前沿领域取得多项突破性研究成果。
PicoFemto原位SEM测量系统
泽攸科技PicoFemto原位SEM测量系统通过集成原位拉伸、纳米压痕、低温环境、液体/气体反应等十余种测试模块，将传统扫描电镜从单一成像设备转变为多模态复合实验平台。该系统支持研究人员直接在SEM内开展多场景原位实验，可实时捕捉材料在力-热-电-化学耦合场作用下的动态相变、微观形变等过程。这种原位动态表征能力不仅使扫描电镜转型为综合性纳米分析平台，更实现了从静态观测到过程解析的跨越。
JS系列高精度台阶仪
泽攸科技JS系列台阶仪作为国产高精度表面测量设备的代表，凭借其创新的技术架构、灵活的应用场景及可靠的测量性能，可以对微纳结构进行膜厚和台阶高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量，在高校、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域有着广泛应用。作为国产科学仪器的突破性成果，JS系列台阶仪打破了国外品牌在高端表面测量设备领域的长期垄断，凭借高性价比与本地化服务优势，成为国内高校、科研机构及制造企业的优选设备。
光刻机
泽攸科技提供覆盖高端科研与工业应用的光刻解决方案，其产品ZEL304G电子束光刻机采用场发射电子枪与高精度激光干涉样品台，支持纳米级分辨率及多种矢量扫描模式，满足半导体、量子器件等领域的复杂光刻需求。而桌面级ZML10A无掩膜光刻机创新融合DLP技术与自动对焦系统，通过LED光源实现"所见即所得"的精准曝光，兼具实验室友好型设计和工业级稳定性。两款设备均在微电子、光子学、超材料等前沿领域展现出卓越的加工能力与工艺扩展性。
纳米位移台
泽攸科技压电驱动纳米位移台，使用压电陶瓷作为运动促动元件，可以在数百毫米范围内实现亚纳米级别的最小步长，从而解决了传统纳米台行程小而微米电动台分辩精度不高的问题。在科研市场、半导体市场、先进制造业、生物医药行业、光学、通信等行业有广泛应用。
二维材料转移台
泽攸科技二维材料转移台是一种基于机械解理法的精密转移设备，通过高精度位移台实现对石墨烯、二硫化钼等二维材料的微米级操控与堆叠，其核心原理类似于微观尺度的“贴膜”技术。该设备突破了传统机械剥离和化学气相沉积法效率低、成本高、可控性差的局限，以低成本、高精度和优异的可操作性为核心优势，可精准控制材料层数、堆叠角度及位置，广泛应用于新型纳米器件制备、异质结构建及二维材料基础研究领域，为科研与工业应用提供了高效可靠的解决方案。
探针台及低温系统
泽攸科技低温探针台是一种广泛用于研究和测试低温材料的精密仪器设备，包括半导体、MEMS、超导、铁电子学、材料科学以及物理和光学等领域。它能够在极低温环境下对样品进行各种物理性能和电学性能测试，为科研工作者和工程技术人员提供极为重要的测试手段。
光栅尺
泽攸科技的光栅尺采用微型化设计，体积小巧且结构紧凑，专为超高真空环境下的精密测量需求而开发。该产品具备优异的耐高温性能，可在严苛工况中保持稳定运行，适用于科研仪器、半导体设备等对真空兼容性要求高的场景。其高精度测量能力结合可靠的密封工艺，为精密位移检测提供了高效解决方案，尤其适合需要兼顾空间限制与环境适应性的工业及科研应用。
化学气相沉积系统
泽攸科技多功能电感耦合等离子体增强化学气相沉积系统（CVD）是用来制备高纯、高性能固体薄膜的主要技术，主要借助微波或射频的方法将目标气体进行电离，促进化学反应在较低的温度下进行，从而在基片上沉积出所期望的薄膜。目前项目团队自主研发的CVD设备可在多种衬底上（如金属、氧化物、半导体表面）直接生长以石墨烯为代表的各类新型二维材料，用于新材料、新器件的研发。工艺简单廉价，且具有传统半导体生长工艺的兼容性。
扫描隧道显微镜
泽攸科技扫描隧道显微镜（STM）为代表的超高真空设备广泛应用于科学研究中，主要进行对表面有关或者在表面发生的所有物理化学现象进行原子尺度的研究。超高真空低温（4K）STM系统包含关键技术如压电陶瓷步进马达、低温STM探头、超真空液氦双层杜瓦等。超高真空低温扫描探针显微镜系列产品，除了高性能STM、调频AFM、TERS等设备外，还可将核心部件模块化，集成化，针对科研用户，定制开发所需功能和设备。
压电物镜
泽攸科技压电物镜采用压电陶瓷驱动的纳米级物镜扫描台，内部使用无摩擦及空回的柔性较链导向机构，确保了扫描台极佳的运动精度。扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。扫描台为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。分体的螺纹适配器，可适配多种型号的物镜。
材料科学是推动现代科技进步的重要基石。新材料、新工艺的不断涌现，为人类社会注入持久动力。而高端科研仪器设备是材料研究和创新的重要助力，是推动材料科学不断突破和发展的利器。
作为具有完全自主知识产权的精密仪器高科技公司，泽攸科技一直坚持自主创新的发展理念，在多个材料科学领域实现了关键核心技术突破，打造出一系列国产替代的优质产品，为国家材料科技自主可控贡献力量。
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