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泽攸科普——扫描电子显微镜电子光学系统详解

泽攸科普——扫描电子显微镜电子光学系统详解


扫描电镜的电子光学系统是实现高分辨率成像的关键所在,其良好的设计与优化关系到设备性能和图像质量。本文主要从电子枪、电磁透镜、光阑、扫描系统和物镜五个子系统详细阐释扫描电镜电子光学系统的组成、功能实现原理及核心技术,分析存在的主要困难与发展方向,以便读者全面系统地了解扫描电镜电子光学系统的工作方式