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扫描电镜中的电子束对样品的影响和调节方法

扫描电镜中的电子束对样品的影响和调节方法


为了调节电子束对样品的影响,通常需要根据具体的样品类型和成像要求采取相应的措施。这可能涉及调整电子束的能量、电流和聚焦,选择合适的检测器和样品准备方法,以及在成像过程中对样品进行实时监控和调整。

SEM扫描电镜成像质量影响因素

SEM扫描电镜成像质量影响因素


本文介绍影响扫描电镜图像质量的因素及其对图像质量的影响,分别从加速电压、扫描速度和信噪比、束斑直径、探针电流、消像散校正、工作距离以及反差对比等分析图像质量的变化原因,提出提高图像质量的方法。