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电子束光刻机


泽攸科技ZEL304G电子束光刻机(EBL)采用场发射电子 枪,配合一体化的高速图形发生系统实现对半导体晶圆的高速、高分辨光刻。

扫描电镜中的电子束对样品的影响和调节方法

扫描电镜中的电子束对样品的影响和调节方法


为了调节电子束对样品的影响,通常需要根据具体的样品类型和成像要求采取相应的措施。这可能涉及调整电子束的能量、电流和聚焦,选择合适的检测器和样品准备方法,以及在成像过程中对样品进行实时监控和调整。

泽攸科普——扫描电子显微镜(SEM)像衬度形成原理

泽攸科普——扫描电子显微镜(SEM)像衬度形成原理


扫描电镜通过电子束在样品表面进行周而复始的扫描运动,同时实时监测各种信号图像的产生,然后根据产生的信号多少来调制图像。

扫描电镜是否能够获得表面拓扑信息

扫描电镜是否能够获得表面拓扑信息


扫描电镜是一种利用电子束扫描样品表面,产生高分辨率的图像的电子显微镜。扫描电镜可以获得样品表面的形貌、纹理、拓扑结构、成分分布等信息,广泛应用于材料科学、生物学、医学、地质学等领域。