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利用台阶仪测量薄膜厚度的方法和技巧

利用台阶仪测量薄膜厚度的方法和技巧


在薄膜制备过程中,薄膜厚度是一个至关重要的参数,直接影响薄膜的性能和应用。为了准确测量薄膜厚度,研究者广泛使用台阶仪,这是一种方便、直接、准确的测量方法

台阶仪在半导体芯片中的应用

台阶仪在半导体芯片中的应用


泽攸科技JS系列台阶仪(探针式轮廓仪)在半导体芯片制造中发挥着关键的作用,主要应用于薄膜材料测量和表面形貌测量,对于确保半导体芯片的质量和性能具有重要意义。

台阶仪的基本结构及原理

台阶仪的基本结构及原理


台阶仪是一种接触式表面形貌测量仪器,主要用于测量台阶的厚度。下面是对其工作原理和结构的简要总结