SEM纳米探针台

分辨率高、尺寸紧凑、行程大

SEM纳米探针台产品实现了三维空间上的准确定位, 它具有分辨率高,尺寸紧凑,行程大,操作简单,能在真空下使用等优点,可应于SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作。SEM纳米探针台产品使用压电陶瓷驱动,运无需润滑,百分真空兼容,并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到纳米级。步进和扫描双模式工作,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。三轴探针台由三个单轴运动台组合而成。一SEM腔体内可安装多个。

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产品描述

SEM纳米探针台产品实现了三维空间上的准确定位, 它具有分辨率高,尺寸紧凑,行程大,操作简单,能在真空下使用等优点,可应于SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作。

SEM纳米探针台产品使用压电陶瓷驱动,运无需润滑,百分真空兼容,并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到纳米级。步进和扫描双模式工作,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。

三轴探针台由三个单轴运动台组合而成。一SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头,实现微纳操纵和测量的目的。


主要参数

▲ 兼容性:适配多种钨灯丝、场发射SEM,保证电镜安全性

▲ 探针驱动方式:PZT压电陶瓷

▲ XYZ行程:XY轴行程≥±10mm,Z轴行程≥10mm

▲ 细调行程:3um

▲ 细调最小步长:≤1nm

▲ 控制模式:开环/闭环

▲ 探针数量:最多支持8探针

▲ 制冷系统(选配功能):热台200℃;冷台-60℃(TEC);冷台-170℃(液氮)


主要配置

压电探针台、压电三轴位移控制器、PC+软件(闭环选配)、压电冷台(选配)、手提箱、源表(选配)、制冷系统(选配)、定制适配电镜法兰、工具附件等


• 产品特点

结构紧凑,高刚性

零间隙,高精度柔性铰链导向系统 

压电陶瓷位移平台具有超长使用寿命

内部根据需求可增加位置反馈 

应用:纳米材料操纵、纳米器件电学光电等物性测量、生物细胞DNA操作等

适配SEM:日本电子、 日立、FEI、 TESCAN等


• 应用案例

电容样品测试

电容样品测试

碳纤维测试

器件测试

薄层材料测试

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