扫描电镜与样品的距离如何影响焦距


发布时间:

2023-11-22

扫描电镜与样品距离对焦距的影响机理较为复杂。为了详细而全面地说明,我从物理原理、几何光学模型、影响因素等方面进行阐述,主要内容如下

扫描电镜与样品距离对焦距的影响机理较为复杂。为了详细而全面地说明,我从物理原理、几何光学模型、影响因素等方面进行阐述,主要内容如下:

从物理本质上讲,扫描电镜采用的是电子束进行探测和成像。根据电子发射枪与样品之间电荷相互作用原理,当间距改变量级发生变化时,会改变入射电子的路径偏转程度,进而影响聚焦状况。

具体来说,当工作距离减小时,电子束经过透镜聚焦后的有效焦深会变短,需要调整透镜电势以取得最佳成像面。这可以通过等效光学模型来理解:减小对象距离使得成像光路变短,相当于增加了成像系统的近点距离,必须提高透镜的折射能力来获取清晰的像面。

此外,间距变化还会影响其他参数:

1)检测器效率下降;

2)样品漂移增加;  

3)样品充电现象加剧,影响图像质量。

所以扫描电镜的工作距离不能随意改变,需要保持在一个相对稳定的最佳范围,通常在2-15mm。超出范围会导致图像质量下降、分辨率降低的后果。要保证系统的最佳成像面与样品表面重合,从而获得清晰的视场与准确的信息。

泽攸科技ZEM18台式扫描电镜

以上就是泽攸科技小编分享的扫描电镜与样品的距离如何影响焦距。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。