影响扫描电镜的分辨率的因素有哪些


发布时间:

2023-11-16

影响扫描电镜的分辨率的因素有以下几个方面

影响扫描电镜的分辨率的因素有以下几个方面:

入射电子束束斑直径:这是决定扫描电镜分辨率极限的指标,它取决于电子源的类型、加速电压、光阑大小、工作距离等参数。一般来说,束斑直径越小,分辨率越高。

入射电子束在样品中的扩展效应:这是由于电子束在进入样品后会发生弹性和非弹性散射,导致电子束的作用体积增大,从而降低分辨率。这个效应与入射束能量和样品原子序数有关,一般来说,入射束能量越高,样品原子序数越小,扩展效应越明显。

调制信号:这是指用于成像的信号类型,如二次电子、反射电子、背散射电子等。不同的信号有不同的能量和逸出深度,从而影响分辨率。一般来说,二次电子和反射电子的分辨率最高,背散射电子的分辨率较低。

透镜的像差:这是由于电磁透镜的设计和制造不完善,导致电子束的聚焦和成像出现偏差,从而降低分辨率。主要的像差有球差、色差、像散等,它们与透镜的结构、励磁、加速电压等有关。一般来说,球差和色差是影响分辨率的主要因素。

Boersch效应:这是由于电子束中的电子间存在库仑排斥力,导致电子能量分布展宽,从而使得束斑尺寸增大,降低分辨率。这个效应与电子束的亮度和束流有关,一般来说,亮度越高,束流越大,Boersch效应越明显。

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