扫描电镜样本的尺寸和形状对参数设置的影响


发布时间:

2023-11-01

扫描电镜(SEM)中的样本尺寸和形状对参数设置和成像的影响是很重要的

扫描电镜(SEM)中的样本尺寸和形状对参数设置和成像的影响是很重要的。不同大小和形状的样本可能需要不同的参数设置,以获得高质量的成像结果。以下是样本尺寸和形状对SEM参数设置的一些一般影响:

样本大小:

小样本:小样本可能需要更高的放大倍数和更高的电子束电流,以获得足够的分辨率和信噪比。电子束的聚焦和定位可能需要更高的精度。

大样本:大样本可能需要较低的放大倍数和较低的电子束电流,以避免过度曝光和样品烧伤。此外,大样本可能需要更宽的深度和焦平面范围。

样本形状:

凹凸不平的样本:对于不平坦的样本表面,需要更仔细的对焦和平面调整,以确保整个样本表面都在焦点范围内。

复杂形状的样本:对于具有复杂形状的样本,可能需要多次成像,以获取更全的信息。此外,可能需要不同的角度来观察样本的各个部分。

样本导电性:

导电性差的样本:对于导电性差的样本,可能需要更高的电子束电流和更长的扫描时间,以获得足够的信号。

导电性好的样本:导电性好的样本可以在较低的电子束电流下获得清晰的成像,这有助于减少电子束对样本的损伤。

样本厚度:

厚样本:对于较厚的样本,可能需要更高的电子束电流,以克服样本内部的散射。此外,可能需要进行透射电子显微镜(TEM)切片制备,以观察样本内部的微观结构。

薄样本:薄样本通常对电子束非常敏感,可能需要较低的电子束电流和较短的扫描时间。

以上就是泽攸科技小编分享的扫描电镜样本的尺寸和形状对参数设置的影响。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。