扫描电镜如何进行电子背散射(BSE)成像


发布时间:

2023-11-01

电子背散射(BSE)成像是一种扫描电子显微镜(SEM)成像技术,它利用来自样品表面的后向散射电子来生成高对比度的影像

电子背散射(BSE)成像是一种扫描电子显微镜(SEM)成像技术,它利用来自样品表面的后向散射电子来生成高对比度的影像。BSE成像通常用于获取有关样品的原子成分和晶体结构的信息。

以下是进行SEM电子背散射成像的一般步骤:

样品准备:首先,您需要准备您的样品。样品可以是固体、薄膜、颗粒等。确保样品表面光滑,清洁并且导电性良好。

扫描电子显微镜设置:将SEM设置为BSE成像模式。这通常包括选择加速电压、适当的工作距离以及其他相关参数。

样品加载:将样品放置在SEM样品台上,并确保它牢固固定。通常使用导电性样品支架,以确保样品与SEM中的电子束之间有良好的电子导通。

调整参数:根据您的样品,调整SEM参数,包括电子束电流、放大倍数等。

获取图像:使用SEM操纵系统,将电子束聚焦在样品表面。BSE是由样品中的原子核散射电子产生的,因此,获得的BSE图像提供了关于样品成分和晶体结构的信息。

图像分析:采集的BSE图像可以用于分析样品的元素分布、晶体纹理、相变等信息。通常使用SEM软件进行图像处理和分析。

电子背散射成像是SEM中的常见技术之一,用于获得样品的详细信息,特别是在材料科学和地质学等领域。这种技术可帮助研究人员深入了解样品的微观结构和成分。

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