泽攸科技JS系列高精度台阶仪在半导体领域的应用


发布时间:

2024-02-26

泽攸科技JS系列高精度台阶仪是一款先进的自主研发的国产台阶仪,采用了先进的扫描探针技术。通过扫描探针在样品表面上进行微观测量,台阶仪能够准确获取表面形貌信息。

泽攸科技JS系列高精度台阶仪是一款先进的自主研发的国产台阶仪,采用了先进的扫描探针技术。通过扫描探针在样品表面上进行微观测量,台阶仪能够准确获取表面形貌信息。其工作原理基于探针与样品表面的相互作用力,通过测量探针的微小位移,实现对表面高度差异的检测。其性能特点包括:

1. 高精度:台阶仪可实现纳米级别的测量,能够揭示微观结构的细节和特征。

2. 大行程超精密平面扫描:具备70mm的大行程,优于20nm/2mm,能够高效地获取表面形貌数据。

3. 大带宽大行程纳米微动台:拥有80um的大行程和10kHZ的频率,能够快速获取样品的形貌数据。

4. 超微压力恒定控制:具备0.5mN到15mN的压力范围控制,确保制作过程中的稳定性和一致性。

功能和作用介绍

作为超精密接触式微观轮廓测量仪,泽攸科技JS系列高精度台阶仪在半导体领域有着广泛的应用。其主要功能和作用包括:

1. 测量微米和纳米结构:可测量膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等微米和纳米级结构。

2. 检测表面缺陷和形貌:能够检测半导体材料表面的缺陷和形貌,为半导体器件的开发和生产提供可靠的数据支持。

3. 提高生产效率:具备高速扫描的能力,能够快速获取样品的形貌数据,提高生产效率。

泽攸科技JS系列高精度台阶仪在半导体领域的应用具有以下优势:

1. 高精度的测量能力:具备亚埃级分辨率,能够满足半导体制造中对微观表面形貌的高精度测量需求。

2. 快速测量的能力:配备精密的位移台和旋转平台,能够快速获取表面的高程数据,提高测量效率。

3. 广泛的适用范围:可对各种不同材料的表面进行测量,包括金属、塑料、玻璃等材料,适用于不同的半导体制造工艺和材料。

泽攸科技JS系列高精度台阶仪在半导体领域的应用,通过其先进的扫描探针技术和优越的性能特点,为半导体器件的制造和品质控制提供了可靠的技术支持,有助于推动我国半导体产业的发展和国产化进程。

泽攸科技半自动台阶仪JS100A

安徽泽攸科技有限公司是一家具有完全自主知识产权的科学仪器公司, 自20世纪90年代开始投入电镜及相关附件研发以来,研发团队一直致力于为纳米科学研究提供优秀的仪器。目前,公司有包括PicoFemto系列原位TEM测量系统原位SEM测量系统ZEM系列台式扫描电镜JS系列台阶仪纳米位移台二维材料转移台探针台及低温系统光栅尺等在内的多个产品线,在国内外均获得了高度关注,填补了国家在科学精密仪器领域的诸多空白。