台阶仪能检测哪些东西?主要应用在哪些领域?


发布时间:

2024-02-19

台阶仪是一种常见的工业测量仪器,广泛应用于大学、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域。它能完成对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。

台阶仪是一种常见的工业测量仪器,广泛应用于大学、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域。它能完成对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。

工作原理

台阶仪的工作原理。台阶仪最主要的工作就是测量,当台阶仪的触针在被测的物体表面轻轻滑过时,被接触的物体表面微小的峰谷就会让触针在进行滑行的同时也做一些上下运动。因此表面轮廓的情况在一定程度上就被触针的运动情况所体现出来。当输出的信号经过测量的电桥之后,输出的信号与触针的平衡位子的位移此刻成正比,调幅的信号也就随之出现,经过放大和整流之后,位移信号就从调幅信号中解调出来了,信号就变得相应缓慢,半导体厚度测试台阶仪,也就能在控制器中被读出来。随之噪音滤波器以及波度滤波器会对调制频率以及外界的干扰信号等因素进行进一步的过滤,误差所带来的影响也随之减小。

泽攸科技JS系列高精度台阶仪是公司自主研发的国产台阶仪。目前为国内首创技术,突破核心技术-大行程超精密平面扫描-70mm,优于20nm/2mm;大带宽大行程纳米微动台-80um,10kHZ;超微压力恒定控制,0.5mN-15mN,打破了国外垄断的局面,是半导体国产化进程中不可或缺的一环。

典型应用

1、半导体应用

(1)沉积薄膜的台阶高度

(2)抗蚀剂(软膜材料)的台阶高度

(3)蚀刻速率测定

(4)化学机械抛光(腐蚀、凹陷、弯曲)

2、大型基板应用

(1)印刷电路板(突起、台阶高度)

(2)窗口涂层

(3)晶片掩模

(4)晶片卡盘涂料

(5)抛光板

3、玻璃基板及显示器应用

(1)AMOLED

(2)液晶屏研发的台阶步级高度测量

(3)触控面板薄膜厚度测量

(4)太阳能涂层薄膜测量

4、柔性电子器件薄膜应用

(1)有机光电探测器

(2)印于薄膜和玻璃上的有机薄膜

(3)触摸屏铜迹线

泽攸科技半自动台阶仪JS100A

安徽泽攸科技有限公司是一家具有完全自主知识产权的科学仪器公司, 自20世纪90年代开始投入电镜及相关附件研发以来,研发团队一直致力于为纳米科学研究提供优秀的仪器。目前,公司有包括PicoFemto系列原位TEM测量系统原位SEM测量系统ZEM系列台式扫描电镜JS系列台阶仪纳米位移台二维材料转移台探针台及低温系统光栅尺等在内的多个产品线,在国内外均获得了高度关注,填补了国家在科学精密仪器领域的诸多空白。