扫描电子显微镜的电子束对样品有没有损伤?


发布时间:

2024-02-04

扫描电子显微镜(SEM)是一种用于观察和分析固体样品表面形貌和结构的高分辨率显微镜。在 SEM 中,电子束会被聚焦并扫描样品表面,产生与样品表面形貌相对应的信号,这些信号可以被探测器收集并转化为图像。那么,SEM 中的电子束对样品有没有损伤呢

扫描电子显微镜(SEM)是一种用于观察和分析固体样品表面形貌和结构的高分辨率显微镜。在 SEM 中,电子束会被聚焦并扫描样品表面,产生与样品表面形貌相对应的信号,这些信号可以被探测器收集并转化为图像。那么,SEM 中的电子束对样品有没有损伤呢?

SEM 中的电子束对样品的损伤主要取决于电子束的能量和剂量。一般来说,SEM 中的电子束能量较低,通常在 1-30 keV 之间,因此对大多数样品的损伤较小。但是,在高能量下,电子束可以穿透样品表面并造成损伤,例如在高倍率下观察时,电子束可以造成样品表面的蒸发和烧蚀。此外,电子束的剂量也会影响样品的损伤程度,高剂量的电子束会导致样品表面的热效应和化学变化,从而影响样品的形貌和结构。

为了减少电子束对样品的损伤,SEM 通常采用以下几种方法,泽攸科技小编给大家列举一下:

1、降低电子束能量:在观察时,尽量使用低能量的电子束,以减少对样品的损伤。

2、控制电子束剂量:通过控制电子束的剂量,可以减少对样品的损伤。

3、使用冷冻技术:在观察时,可以使用冷冻技术将样品冷冻,以减少电子束对样品的损伤。

4、使用环境扫描电镜(ESEM):ESEM 可以在低真空或环境条件下观察样品,从而减少电子束对样品的损伤。

5、使用低电压扫描:在观察时,可以使用低电压扫描,以减少电子束对样品的损伤。

6、使用背散射电子探测器(BSE):BSE 可以收集背散射电子,从而减少电子束对样品的损伤。

7、使用 X 射线能谱仪(EDS):EDS 可以收集 X 射线,从而减少电子束对样品的损伤。

SEM 中的电子束对样品的损伤较小,但在高能量和高剂量下会对样品造成一定的损伤。为了减少电子束对样品的损伤,可以采用降低电子束能量、控制电子束剂量、使用冷冻技术、使用环境扫描电镜、使用低电压扫描、使用背散射电子探测器和使用 X 射线能谱仪等方法。

 

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安徽泽攸科技有限公司是一家具有完全自主知识产权的科学仪器公司, 自20世纪90年代开始投入电镜及相关附件研发以来,研发团队一直致力于为纳米科学研究提供优秀的仪器。目前,公司有包括PicoFemto系列原位TEM测量系统原位SEM测量系统ZEM系列台式扫描电镜JS系列台阶仪纳米位移台二维材料转移台探针台及低温系统光栅尺等在内的多个产品线,在国内外均获得了高度关注,填补了国家在科学精密仪器领域的诸多空白。