探秘扫描电子显微镜(SEM)及样品制备技巧


发布时间:

2024-01-02

扫描电子显微镜(SEM)是一种在化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等领域广泛应用的仪器。本文将介绍SEM的基本原理、常见品牌以及样品制备技巧

扫描电子显微镜(SEM)是一种在化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等领域广泛应用的仪器。本文将介绍SEM的基本原理、常见品牌以及样品制备技巧。最常见的扫描电镜品牌大部分都是进口的,国产台式扫描电镜的代表主要是泽攸科技(ZEPTOOLS)。

扫描电镜基本原理

SEM利用电子束与样品相互作用产生的信号进行成像。这些信号包括背散射电子、二次电子、吸收电子、透射电子、特征X射线和俄歇电子。其中,特征X射线通过额外配置的能谱仪进行成分分析。电子束与样品交互产生的信息被接收器接收,并通过显像管放大,最终形成图像。

扫描电镜样品制备

样品制备是SEM测试中关键的环节,影响着测试结果的准确性。优质的待测样品应具备电导、小巧、洁净、稳定的特点。电导性好的样品成像效果更佳,而导电性差的样品可能需要喷金以增强电导性。样品的尺寸应保持在10mm * 10mm * 1mm左右,而液体样品需要在硅片上进行粘附和烘干。

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扫描电镜示意结果图

SEM照片呈现灰度图像,分为二次电子像和背散射电子像。二次电子图像主要反映样品表面微观形貌,而背散射电子图像则展示表面元素分布情况。图像中明亮的区域通常代表原子序数较高的区域,但需要注意在薄膜和导电性差的情况下可能出现假像。

扫描电镜测试结果及实例

不同品牌的SEM呈现不同的测试结果。通过实例展示,使用SEM观察玻璃表面腐蚀凹坑的情况。重要的是使用标尺分析图像,以了解凹坑的尺寸。标尺长度为5μm,每小格为500nm,可帮助描述实验结果。

结语

SEM在科学研究和工业领域发挥着重要作用。了解SEM的基本原理和样品制备技巧,对于获取准确的测试结果至关重要。通过合理的样品制备和对SEM测试结果的分析,研究人员可以深入了解材料的微观结构和表面特征。

泽攸科技ZEM18台式扫描电镜

安徽泽攸科技有限公司是一家具有完全自主知识产权的科学仪器公司, 自20世纪90年代开始投入电镜及相关附件研发以来,研发团队一直致力于为纳米科学研究提供卓越的仪器。目前,公司有包括PicoFemto系列原位TEM测量系统原位SEM测量系统ZEM系列台式扫描电镜JS系列台阶仪纳米位移台二维材料转移台探针台及低温系统光栅尺等在类的多个产品线,在国内外均获得了高度关注,填补了国家在高端精密仪器领域的诸多空白。