台阶仪在半导体芯片中的应用


发布时间:

2023-12-04

泽攸科技JS系列台阶仪(探针式轮廓仪)在半导体芯片制造中发挥着关键的作用,主要应用于薄膜材料测量和表面形貌测量,对于确保半导体芯片的质量和性能具有重要意义。

台阶仪(探针式轮廓仪)通过记录探针在物体表面的垂直位移,从而达到测量物体表面台阶高度、粗糙度等物理参数的目的。主要用于薄膜材料厚度(2D)测量和表面形貌测量(3D)。台阶仪可精确获得定量的台阶高度、线粗糙度、薄膜曲率半径,测量薄膜应力等。泽攸科技JS系列台阶仪由于其操作简单、分辨率高及重复性良好等优点,被广泛用于半导体、微电子、太阳能、LED、触摸屏、医疗等领域。

其中,泽攸科技JS系列台阶仪(探针式轮廓仪)在半导体芯片制造中发挥着关键的作用,主要应用于薄膜材料测量和表面形貌测量,对于确保半导体芯片的质量和性能具有重要意义。

一、应用领域:

薄膜材料测量: 台阶仪通过记录探针在物体表面的垂直位移,实现对薄膜材料的厚度测量。在半导体芯片制程中,不同层次的薄膜涂覆在芯片表面,而台阶仪可以精确测量这些薄膜的厚度,确保其符合设计要求。

表面形貌测量: 台阶仪不仅可以获得薄膜台阶的高度,还能进行表面线粗糙度和3D表面形貌测量。这对于评估芯片表面的平整度和形貌特征至关重要,尤其在微电子制造中,确保表面质量对芯片性能和可靠性有直接影响。

薄膜应力测量: 台阶仪通常配备了薄膜应力测试功能,可以测量薄膜中的应力。在半导体制造中,薄膜应力的控制对于防止薄膜剥离、裂纹和其他不良现象至关重要。

二、特点和优势:

高分辨率和精准性: 台阶仪采用先进的LVDT线性位移传感器,具有高垂直分辨率和重复性,能够提供非常精准的测量结果。

探针更换方便: 设备通常配备标配的探针更换工具,保证了探针更换的安全和迅速性,提高了设备的可维护性。

软件系统智能化: 台阶仪通常搭载智能化软件系统,提供可视化工作流程和各种自助设定功能,使用户能够快速并全面进行数据收集和分析。

三、在半导体芯片制造中的重要性:

工艺控制: 台阶仪的应用帮助工程师们监测制程中薄膜的特性,以确保每个制程步骤都符合设计规格,从而提高芯片的制造质量。

工艺优化: 通过测量薄膜的厚度、形貌和应力等参数,台阶仪能够帮助工程师们优化制程条件,提高生产效率和产品质量。

质量保证: 台阶仪的高精度和可靠性确保了对芯片表面特性的准确测量,有助于提供高质量、可靠的半导体芯片产品。

总体而言,台阶仪在半导体芯片制造中是一种不可或缺的工具,为工程师们提供了重要的测量和分析手段,确保了半导体芯片的高质量制造。

泽攸科技台阶仪

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