微观世界的探秘:台阶仪与轮廓仪在工业制造中的精密测量与应用对比


发布时间:

2023-11-30

在当今工业制造领域,精密测量技术的发展成为推动科技创新和产品质量提升的关键因素。在微观世界的探秘过程中,台阶仪与轮廓仪作为两种不同而强大的测量工具,引领着工业制造中的表面形貌测量领域。随着科技的不断进步,了解这两种仪器的特点和应用领域,对于确保产品质量、满足工艺要求至关重要。在这个领域的发展潮流中,让我们深入探讨台阶仪和轮廓仪的差异与应用,揭示它们在微观测量中的卓越价值。

在当今工业制造领域,精密测量技术的发展成为推动科技创新和产品质量提升的关键因素。在微观世界的探秘过程中,台阶仪与轮廓仪作为两种不同而强大的测量工具,引领着工业制造中的表面形貌测量领域。随着科技的不断进步,了解这两种仪器的特点和应用领域,对于确保产品质量、满足工艺要求至关重要。在这个领域的发展潮流中,让我们深入探讨台阶仪和轮廓仪的差异与应用,揭示它们在微观测量中的卓越价值。 

一、测量原理和对象:

台阶仪:利用光学干涉原理,主要用于接触式测量微米和纳米结构的膜厚、薄膜高度、表面形貌、波纹和粗糙度等。广泛适用于大学、研究实验室、半导体、LED、太阳能、MEMS、汽车、医疗设备等领域。

轮廓仪:分为接触式轮廓仪和光学3D表面轮廓仪。接触式轮廓仪主要测量工件轮廓形状和表面粗糙度,适用于精密机械、汽车、轴承、模具等行业。光学3D表面轮廓仪用于非接触式快速测量微观粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸,广泛应用于半导体、光学加工、MEMS器件等领域。

二、测量方式:

台阶仪:采用光学干涉原理,通过观察光学干涉图案来测量微观结构。

接触式轮廓仪:使用接触式探头直接接触工件表面进行测量。

光学3D表面轮廓仪:利用光学原理,通过非接触式的方式测量微观粗糙度和形貌轮廓。

三、适用范围:

台阶仪:适用于广泛的行业,特别擅长测量微米和纳米级别的结构,如薄膜、表面形貌等。

接触式轮廓仪:主要应用于精密机械、汽车、轴承、模具等行业,对零件的尺寸、形状、粗糙度等进行精准测量。

光学3D表面轮廓仪:专注于超精密加工领域,广泛应用于半导体、电子玻璃屏、光学加工、MEMS器件等领域。

四、测量参数:

台阶仪:主要测量膜厚、薄膜高度、表面波纹和表面粗糙度等微观结构。

接触式轮廓仪:可以测量轮廓形状、表面租糙度,实现尺寸、形状、粗糙度三个要素的精准测量。

光学3D表面轮廓仪:用于测量微观粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸。

在选择仪器时,需根据具体的测量需求、工件特性和所在行业来决定使用台阶仪还是轮廓仪,以确保高效、准确地满足生产和制造的要求。

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