表面轮廓仪的工作原理和应用


发布时间:

2023-11-27

表面轮廓仪主要由三个核心单元组成:气浮工作台系统、精密测头系统和信号采集与分析系统。

表面轮廓仪主要由三个核心单元组成气浮工作台系统、精密测头系统和信号采集与分析系统。

1、气浮工作台系统

它利用压缩气体推力形成气动轴承,使工作台保持微小浮动,避免和底座直接接触。一般采用若干组气体喷嘴,精密控制气流参数,通过气压反馈与位置传感闭环,实时调节工作台的气隙间距,保证在1微米量级误差范围内平稳悬浮。这样确保了非接触测量的基础。

2、精密测头系统

测头主要采用线性变量差动变压器组成,可以感应探针微小的垂直位移,并实时转换为等效电信号,输入到数据采集与分析部分。探头可以利用线性电机等驱动进行XY方向高精度扫描。其垂直定位分辨率极高,先进设备可达到0.01nm量级。

3、数据处理与分析部分

这里包括信号放大、滤波、数字采集,以及后续软件提取分析等模块。通过自定义扫描路线,可以获取表面形貌的数字化三维模型。并进行各向异性滤波、曲率分析等,用于表面粗糙度参数的定量化。

表面轮廓仪广泛用于半导体、光学、机械等领域的精密表面质量测量,是实现精密加工和控制的有力工具。气浮扫描测头的运动控制和信号检测是核心。

泽攸科技台阶仪

以上就是泽攸科技给您带来的表面轮廓仪的工作原理和应用的内容介绍,更多台式扫描电镜TEM原位测量系统台阶仪纳米位移台的内容请咨询15756003283(微信同号)。