台阶仪测量薄膜厚度时,台阶要怎么形成?


发布时间:

2023-11-24

台阶仪主要用于准确测量薄膜和涂层的厚度。在测量过程中,台阶的形成方式有以下几种

台阶仪主要用于准确测量薄膜和涂层的厚度。在测量过程中台阶的形成方式有以下几种:

1. 利用遮挡法制备台阶

在样品上利用小块物料遮挡一部分区域然后进行薄膜沉积。移除遮挡块后就形成了高低不同的薄膜台阶。

2. 通过刮擦或抛光形成台阶

先制备均匀的薄膜样品然后利用钻石笔等物理方法刮擦掉局部薄膜露出基底形成台阶高低差。

3. 采用光刻技术形成台阶

使用光刻工艺先在样品上沉积光刻胶层并曝光定型然后利用显影液腐蚀腐蚀掉部分区域的胶层最后进行全面薄膜沉积即得到台阶结构。

4. 利用离子束形成

采用聚焦离子束技术可以直接轰击切除局部薄膜材料快速且精确地得到台阶结构。

制备好具有高度差异的薄膜台阶后即可使用台阶仪的模块来精确测量台阶高度从而反推算出薄膜的准确厚度。

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