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JS系列台阶仪宣传手册

发布时间: 2024-04-09 17:14:17.000

台阶仪可以对微纳结构进行膜厚和台阶高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量,在高校、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域有着广泛应用。

长期以来,这一领域被国外产品垄断。而泽攸科技自主研发的JS系列高精度台阶仪,凭借突破性的关键技术,打破了国外垄断,是半导体国产化进程中不可或缺的一环。

JS系列台阶仪的核心优势在于大行程超精密平面扫描、大带宽大行程纳米微动台、超微压力恒定控制等自主创新技术。大行程超精密平面扫描技术行程55mm,平坦度优于20nm,超微压力恒定控制探针压力0.5~50mg,大带宽大行程纳米微动台技术行程80um,分辨率0.05nm,带宽10KHz。凭借这些领先的技术指标,JS系列台阶仪可满足各类精密制造环节中对表面粗糙度的高要求测量需求。

目前,JS系列已成为半导体、新型平板显示、精密光学元件等制造环节中重要的质量把控工具。泽攸科技还将进一步推进技术创新,为实现更多关键制造环节的国产化贡献力量。

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