室温半自动探针台 TZ-H-06

高可靠性探针台系统

室温自动探针台,高可靠性探针台系统,主要应用在半导体/微电子, 电子,机电,物理,化学,材料,光电,纳米,微机电/MEMs,生物芯片,航空航天等科学研究领域,以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。

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产品描述

室温半自动探针台,高可靠性探针台系统,主要应用在半导体/微电子, 电子,机电,物理,化学,材料,光电,纳米,微机电/MEMs,生物芯片,航空航天等科学研究领域,以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。

旨在预算与高测量可靠性之间寻求平衡点,该平台配备高精度位移台,可实现X、Y、Z、 R等方向自动调整,各移动轴可实现±0.005mm以下的精度定位,对阵列型测量特征可实现快速准确的测量。经济实用,稳定性强,可升级扩展,操作方便是本产品的核心价值,在各大高校、研究所及半导体行业应用广泛。


• 产品特征

△ 标配4个探针臂,可提供4-8个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm,调节精度优于5um。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆;

△ 显微镜模块:连续变倍单筒显微镜,光学放大倍率:0.5X~5.0X(使用1X附加物镜时), 视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头,带同轴照明和环形照明,带机械调焦和光学调焦;

△ 样品座采用电机驱动,可实现快速于目镜下寻找样品,调节范围:100mm*100mm*15mm*±180°。

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