长行程压电纳米位移台ML-92A

百分百真空兼容

长行程压电纳米位移台ML-92A,该产品使用压电陶瓷驱动,运动无需润滑,百分百真空兼容,并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到纳米级。能够步进和扫描双模式工作,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。支持开环/闭环控制。

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产品描述

长行程压电纳米位移台ML-92A,具有分辨率高,行程大,带有高精度及高分辨率的位置反馈,操作简单,定位精准,能在真空下使用等优点,可应用于需要纳米精度运动操作及定位的各个领域。

该产品使用压电陶瓷驱动,运动无需润滑,百分百真空兼容,并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到纳米级。能够步进和扫描双模式工作,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。支持开环/闭环控制。


• 应用案例

△ 电子显微镜原位纳米探针台

△ 半导体芯片检测

△ 光刻机工件台

△ 微生物操纵手

△ 光纤焊接

△ 超精密组装

△ 精密检测与测量

△ 高精度激光对焦 

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