线性压电纳米位移台MF30-20A

压电驱动纳米位移台、压电陶瓷

线性压电纳米位移台MF30-20A,压电驱动纳米位移台,使用压电陶瓷作为运动促动元件,可以在数百毫米范围内实现亚纳米级别的最小步长,从而解决了传统纳米台行程小而微米电动台分辩精度不高的问题。在科研市场、半导体市场、先进制造业、生物医药行业、光学、通信等行业有广泛应用。

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产品描述

压电驱动纳米位移台,使用压电陶瓷作为运动促动元件,可以在数百毫米范围内实现亚纳米级别的最小步长,从而解决了传统纳米台行程小而微米电动台分辩精度不高的问题。在科研市场、半导体市场、先进制造业、生物医药行业、光学、通信等行业有广泛应用。

泽攸科技精密仪器研发团队自主研发的压电驱动纳米位移台,具有运动无需润滑,真空兼容,可在从液氦温区(-269摄氏度)至室温的宽温区内工作等优点。具有步进和扫描双工作模式,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。

线性压电纳米位移台MF30-20A,大行程直线位移台,不仅拥有紧凑的安装尺寸,同时还兼具低温真空等应用环境,支持定制纳米位移台。 


• 产品优势

△ 结构紧凑,高刚性

△ 零间隙,高精度柔性铰链导向系统

△ 室温到液氦工作温度,超高真空兼容

△ 压电陶瓷促进器具有超长使用寿命

△ 带位移传感器,提供位置和速度闭环控制


• 产品应用

电子显微镜原位纳米探针台,半导体芯片检测,光刻机工件台,微生物操纵手,光纤焊接,超精密组装,精密检测与测量。

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