线性压电纳米位移台MF40-25A

兼具低温真空应用环境

线性压电纳米位移台MF40-25A,大行程直线位移台,不仅拥有紧凑的安装尺寸,同时还兼具低温真空等应用环境,支持定制纳米位移台。

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产品描述

线性压电纳米位移台MF40-25A,紧凑结构支撑下的超大行程,软件简单易用,亚纳米级别开环分变率,真空兼容可达10-5Pa。支持定制纳米位移台。

不同于传统的微米级别行程,纳米位移台拥有超大运动行程。大运动行程可以替代传统的大范围运动加不范围补偿的运动方案,从而使设计 结构更加紧凑,运动控制更加简单。

纳米位移台配套操作简单,随时调整XY轴观测位置,电子屏显示,实时反馈数据,数据定位准确,且带有高精度及高分变率的位置反馈。


• 产品优势

△ 结构紧凑,高刚性

△ 零间隙,高精度柔性铰链导向系统

△ 室温到液氦工作温度,超高真空兼容

△ 压电陶瓷促进器具有超长使用寿命

△ 带位移传感器,提供位置和速度闭环控制


• 产品应用

电子显微镜原位纳米探针台,半导体芯片检测,光刻机工件台,微生物操纵手,光纤焊接,超精密组装,精密检测与测量。

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