原位MEMS-STM-TEM多场测量系统

MEMS-STM-TEM

PicoFemto原位MEMS-STM-TEM多场测量系统,该产品是一种革命性的原位透射电子显微镜实验系统,使研究者可以在透射电子显微镜中构建一个可控的多场环境(包括力、热、光、电等)

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产品描述

PicoFemto原位MEMS-STM-TEM多场样品杆,该产品是原位透射电子显微镜实验系统,使研究者可以在透射电子显微镜中构建一个可控的多场环境(包括力、热、光、电等),从而对材料或者器件等样品实现多重激励下的原位表征。 


• 性能指标

 透射电镜指标:

△ 兼容指定电镜型号及极靴;

△ 可选双倾版本,双倾电学测量样品杆Y轴倾角±25°(同时受限于极靴间距);

电学测量指标:

△ 包含一个电流电压测试单元;

△ 电流测量范围:1 nA-30 mA,9个量程;

△ 电流分辨率:优于100 fA;

△ 电压输出范围:普通模式±10 V,高压模式±150 V;

△ 自动电流-电压(I-V)测量、电流-时间(I-t)测量,自动保存。

扫描探针操纵指标:

△ 粗调范围:XY方向2.5 mm,Z方向1.5 mm;

△ 细调范围:XY方向18 um,Z方向1.5 um;

△ 细调分辨率:XY方向0.4 nm,Z方向0.04 nm。

光纤指标:

△ 多模光纤外径250 um,保证电镜系统真空指标;

△ 可选光纤探针、平头光纤;

△ 配备快速SMA接头、FC接头;

加热指标:

△ 温度范围:室温到1000 ℃;

△ 温度准确度优于 5% ;

△ 温度稳定性:优于±0.1 ℃。


应用场景

可通过简单更换MEMS芯片种类以及不同STM探针为样品施加至多四种激励,实现多种复杂的测试功能,完成以往无法实现的研究。

△ 高温拉伸/压缩(加热芯片+电学STM探针);

△ 热电子发射/场发射(加热芯片+电学STM探针);

△ 三端器件测量(电学芯片+电学STM探针);

△ 电致发光现象研究(电学芯片+光学STM探针);

△ 光电现象研究(电学芯片+光学STM探针)。


产品特色

稳定性高

轻松获得大幅度运动中的高分辨像,适用于更广泛的应用场景和样品体系。

超长的寿命

专利技术(专利种类:实用新型(具备高分辨多维操纵和电学测量的电子显微镜原位样品杆) 专利号:202020944865 .4)的“爪-球”结构探针杆因其独特的结构设计,是公认皮实耐用的探针杆。

超低维护成本

设备配套的针尖制备系统可低成本制备针尖耗材。”爪-球“微动结构已实现模块化量产,维护成本低。

庞大的用户群

在国内拥有近200个高质量原位用户,出口到欧美澳等地。每年,用户会产出大量高质量研究成果。定期组织各类用户交流活动,搭建学术平台供用户交流。

成熟的技术支持网络

在安徽、北京、东莞和上海拥有分公司,其他各地拥有若干技术支持网点,24小时提供技术支持 


• 经典案例

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